製品詳細
半導体の陶磁器のチャック/陶磁器の端-沈殿のための作動体およびイオンは機械を植え付けます
半導体の陶磁器の腕の製品の説明
プロダクト:チャックおよびウエファーの終り作動体
チャックがおよび終り作動体は全工程によってシリコンの薄片を処理し、運ぶのに使用されています。製陶術の化学inertnessはそれらの部品が化学ぬれたエッチングの浴室のウエファーのために汚染なしであるように特にします。
これらの項目は大型のウエファーの処理を可能にし、真空チャネルによって部品を握るために設計することができます。
適用
陶磁器の部品は次の半導体のプロセス用機器で使用することができます:
- 沈殿およびイオンは機械を植え付けます
- 化学ぬれたエッチング装置
- 失敗分析機械
- 静電気のチャック
プロダクト
Mingruiは次のプロダクトを提供できます:
- 静電気のチャック(Eチャック)のための絶縁体の版
- 熱のチャックのための支承板
- 終り作動体
材料
最も一般的な陶磁器材料は次のとおりです:
- アルミナ–または酸化アルミニウム– 99,6%の最低
- 焼結させるおよびCVC炭化ケイ素。
陶磁器の端-作動体、Endeffector、Endeffectors、ウエファーのキャリア、ウエファーのチャック、ウエファーの積み込み用具、ウエファー用具:NetMotion、Inc.のウェブサイト
半導体の陶磁器の腕のキーワード及び札
特徴のウエファーのチャック/端-作動体より多くの細部は、モデル設計特性およびアプリケーション ノートの特性及びアプリケーション
ノートの端をここにかちりと鳴らします-は作動体Netmotionのアルミナ、連続comminicationのコントローラー、半導体の供給、Fabsのアルミナの管、Microstepモーター、ステッピング
モーターの運転者、モーター コントローラー、段階的な発振器の運転者、半導体の製作プロダクト、クリーン ルーム プロダクト、クリーン
ルーム、Clea htm whの作動体をファイルします
製陶術に質の部品にとって理想的な優秀な機械、電気の、および熱特性があります。ファイン
セラミックスの耐久性はそれに研摩および化学的に粗い環境にである機械および熱負荷のための理想をします。 |
| - 標準的なかいおよびフォークの設計
- 4"、5"、6"、8"および12"のためウエファー
- 真空および非真空
- 高温抵抗
- 化学抵抗
- 耐久および信頼できる
|
|
|
標準12"および8"はアルミナの端-作動体--に塗りました |
|
標準的なアルミナのかい設計4" ~12" | 標準的なアルミナのフォークの設計4" | 8つ | | | サイズ | 部品番号 | 4" | CEFV04PA | 6" | CEFV06PA | 8" | CEFV08PA | 12" | CEFV12PA |
| サイズ | 部品番号 | 4" | CEFV04FK | 6" | CEFV06FK | 8" | CEFV08FK |
|
|
タイプの陶磁器 | 純度 | 色 | 真空 | 非真空 | アルミナ | 99.5% | 白い | はい | はい | アルミナ | 99.6% | クリーム | はい | はい | アルミナ | 99.9% | クリーム | いいえ | はい | 炭化ケイ素(SiC) | 98.0% | 黒 | はい | はい |
|
|
特性及びアプリケーション ノート |
|
陶磁器の端-作動体の特性 | 特性 | アルミナ | 炭化ケイ素(SiC) | 純度 | 99.9% | 99.6% | 99.5% | 98.0% | 化学成分 | A120 3 | A120 3 | A120 3 | SiC | 色 | 象牙 | 暗い象牙 | 白い | 黒 | 密度(g/cm3) | 3.95 | 3.94 | 3.94 | 3.14 | Flexural強さ(kg/mm2) | 40 | 38 | 45 | 51 | Vickerの硬度 | 1,800 | 1,500 | 1,500 | 3,100 | 若い比率(104kgf/mm2) | 3.9 | 4 | 3.9 | 4.2 | 構成の強さ(MN/m3/2) | 4 | 4 | 4 | 2.4 | (10-6)熱膨張率 | 7.9 | 8 | 8 | 3.4 | 熱伝導性(Cal/sec/cm) | 0.07 | 0.07 | 0.07 | 0.33 | 容積抵抗(>&=cm) | >10-14 | >10-14 | >10-14 | 106 | 比誘電率 | 10.5 | 11 | 11.5 | -- | 誘電正接(10-4のMHz) | -- | 8.0 | 4.8 | -- | 絶縁破壊電圧(kv/mm) | 15 | 13 | 15 | -- |
|
アプリケーション ノート |
| ロボット工学では、終り作動体はロボット腕の端に接続される装置または通行料です。端の構造-作動体(左右の図を見て下さい)、およびそれを運転するプログラミングおよびハードウェアの性質は意図されていた仕事によって、決まります。 ロボット腕は補助的なハードウェアおよび/またはプログラミングへの変更なしである特定の終り作動体の仕事モードだけ収容できます。直接スクリュードライバーの頭部によってグリッパーを、例えば取り替えることはでし、可能好ましい結果を期待します。ロボット
コントローラーのプログラミングを変え、魅惑的な力よりもむしろトルクを促進するのに別の一組の終り作動体モーターを使用することは必要です。それからグリッパーは運転者の頭部によって取り替えることができます。 | |
|
端-作動体は位置の間で半導体ウエハーを扱い、動かすロボット腕の端を構成します。それは基本的にロボットの手です従って熱的にそして大きさに関して安定しているそして部屋を粒子か化学汚染物と汚染しないためにことは重要です。
陶磁器の端-作動体は剛さのために使用され、高力、ロボット腕を意味することはアルミニウムとのより最終的な位置に速く解決します。さらに、ロボットの動き自体はより速く、最大限に活用し正確さを置き、効率を高めます。
陶磁器材料はさらされる沈殿化学に基づいていました選ばれます。例えば、血しょうが使用されれば、最低の99.5%アルミナは使用されなければなりません。
ガス化学の同じ考察は血しょう腐食プロセスのための内部材料を定めるために必要です。陽極酸化されたアルミニウムまたはアルミナの部屋がfluorinatedガスか酸素血しょうと薬品による腐食を防ぐのに使用されればtheanodisedアルミニウム壁でyttriaのコーティングが使用されるかもしれません。Yttriaにアルミナか熱スプレーのアルミナのコーティングと比較される優秀な腐食抵抗および低いparticulationがあります。
関連製品の写真:
産業陶磁器Intriduction
酸化アルミニウム、Al2O3は最も広く加えられ、費用効果が大きい技術的な陶磁器材料です。それは優秀な機械強さの組合せをおよび電気特性、耐久性および耐食性提供します。最高の働く温度は比較的高い熱伝導性の1700まで°Cです。それはまた高い電気抵抗の電気で絶縁体です。よい耐食性はそれを水で不溶解性および強い酸およびアルカリ解決でわずかに溶けるようにします。
会社の紹介
Mingruiの陶磁器の製造は実際の適用に従って機械設備、電子及び電気、石油開発、医学、化学工業等および顧客の要求のような広い応用範囲にアルミナの陶磁器の部品を提供し、純度は95%-99.7%から変わり、形成方法は異なっています。私達の植物で適用される形成方法は乾燥した押すことがの地殻均衡の注入の鋳造物、放出の鋳造物押すこと含まれています。ベテラン
エンジニアおよび有能な労働者で良質、高精度、顧客のための複雑な部品を世界的に提供するために、私達は確信しています。
FAQ
Q:あなた商事会社または製造業者はですか。
A:私達は工場です。
Q:どの位あなたの受渡し時間はありますか。
A:通常それは商品が在庫にあれば5-10日です。またはそれは量に従って商品が在庫になければ15-20日、それありますです。
Q:サンプルを提供しますか。それは自由または余分ですか。
A:はい、私達は自由電荷のためのサンプルを提供できましたが、貨物の費用を支払いません。
Q:あなたの支払い条件は何ですか。
A:Payment=1000USD<>、先立って30% T/T、shippmentの前のバランス。
他のどの質問もあれば、plsは私達に連絡して自由に感じます。
会社概要
トンコワンMing
Ruiの陶磁器の技術Co.、株式会社の機械で造られた陶磁器の部品の専門の製造業者に、技術者の10人の上級エンジニアそして多くがある。私達は増強された構造のジルコニア陶磁器棒、陶磁器の管、陶磁器シャフト、陶磁器の版、陶磁器の袖、陶磁器弁、陶磁器のプランジャーおよび陶磁器の腕を作り出す。プロダクトは器械に適当、医療機器、時計および電子プロダクト、製造所、エネルギーおよび力、機械および金属、オートカー・ジャパンおよび軍隊および他のある上限区域である。
清華大学と協同して、私達は大きい成功の条件を特に達成した。機械で造られた陶磁器の部品の私達の専門知識およびビジネス経験によって、low-budgetおよび高性能新しい陶磁器プロダクトは良質の原料から成っている。私達の陶磁器プロダクトの価値は合成の技術および精密な処理が増加された原因非常にである。
私達の高性能は私達の専門家によって機械で造られた陶磁器の技術の陶磁器の部分、完全なサービスおよびよい評判の根、持続可能な発展のための連続的な革新、大きい誠意および私達の追求機械で造った。私達に明るさ、色、私達の陶磁器の部品の滑らかさを改善した「磨く」とミラー呼ばれる独特なtechnnologyがある。