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超音波半導体ウエファーコーティング
記述:
ワッファーコーティングは,ワッファーレベルでのチップ結合粘着剤の自動適用を容易にするユニークなプロセスであり,次の段階ではチップ結合フィルムの形成が続きます.FUNSONICの超音波半導体ウエファーコーティング技術はウエファーコーティングに適しています熱またはUVB段階とウエファー切断後,チップ接続は,一貫した接着線と小さな接着線を生産するために,加熱と圧力を介して達成されます.制御されたコーナー
超音波半導体ウエファーコーティング技術は,使用中に超音波周波数,スプレー速度,コーティング厚さなどのスプレーパラメータを考慮する必要があります.特定の材料と要求に応じて最適化する必要がある■同時に,材料の特性も,スプレー効果に一定の影響を与える可能性があります.例えば,粘度,表面張力,およびコーティングの揮発性,材料の選択において考慮すべき事項.
パラメーター:
製品タイプ | インテリジェント超音波精密コーティングマシン デスクトップ型 FS620 |
噴霧ノズルの動作頻度 | 20〜200kHz |
ノズルのパワー | 1〜15W |
連続噴射量 最大 | 0.5〜10ml/min |
効果的噴霧幅 | 2~20mm |
噴霧の均一性 | ≥95% |
溶液変換率 | ≥95% |
ドライフィルムの厚さ | 20nm〜100μm |
溶液粘度 | ≤30cps |
温度範囲 | 1〜60°C |
原子化粒子 (平均値) | 15-40μm (蒸留水),ノズルの周波数によって決定される |
偏向圧力 最大 | ≤0.05MPA |
入力電圧 | 220V±10%/50-60Hz |
練習モード | XYZ 3軸,独立プログラム可能 |
制御モード | FUNSONICスプレー制御システム,PLC制御, 13.3インチフルカラータッチスクリーン |
コントロール内容 | 超音波噴射,液体供給,加熱,超音波分散その他のシステム |
液体供給方法 | 精密注入ポンプ |
超音波分散システム (オプション) | 20mlまたは50ml,40K,生物学的サンプラー |
超音波分散システムの定数電源 | 100W |
適用:
1光感性層のコーティング:
フォトリトグラフィでは,超音波技術を使用して光敏感物質を均等にコーティングし,高解像度パターン転送を保証します.
2保護層:
耐腐食性や 摩擦性のある保護コーティングを塗り 耐久性を高めます
3機能性コーティング:
特定の用途では,特定の電気的または光学的な特性を持つ機能的な材料をコーティングすることができる.
超音波半導体ウエファーコーティング