高純度サファイアリフトピン半導体ウェーファー処理オーダーメイドサイズ

最低注文量:1

材料:単結晶のサファイア

表面の荒さ:Ra ≤ 0.02μm

先端形状:平ら、丸い、角型

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SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD

確認済みサプライヤー

Shanghai Shanghai China

住所：部屋1-1805,No.1079 ダイアンシャンフ・ロード清浦地区上海市,中国 /201799

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製品詳細会社概要

製品詳細

製品紹介

サファイアリフトピン (Sapphire lift pin) は,高純度単結サファイアから作られたリフトピンで,主に半導体製造機器で,ウエファーを支え,移動するために使用される.ザファイアの優れた高温耐性に ምስጋና化学的安定性や極度の硬さにより,サファイアリフトピンが厳しい環境でも安定した性能を維持できます.サファイアリフトピンを使用すると,ウエファー汚染のリスクが大幅に減少します.装置の寿命を延長する処理の総生産性を向上させる.

基本原則

サファイアリフトピンの基本原理は,処理中にワッフルを正確に上げたり下げたりして,適切な位置付けを確保することです.多重のザファイアの引き上げピンは,通常,ワッフルの歪みや破損を防止するために一緒に動作するサファイアリフトピンが高温,真空,腐食性のある環境に耐えるため,従来の材料よりも長い使用寿命と高い信頼性があります.

仕様

ポイント	仕様
材料	シングルクリスタルサファイア
サイズ	カスタマイズ
表面の荒さ	Ra ≤ 0.02μm
作業温度	>2000°C
熱膨張係数	5.8 × 10−6 /°C
折りたたみ力	≥400 MPa
透明性	目に見える範囲で高い伝達力
耐腐食性	すごい
トップ形	平らで丸い角型
マウント	メカニカル・スレッド

申請

サファイアリフトピンは,エッチ (Etch),化学蒸気堆積 (CVD),物理蒸気堆積 (PVD),原子層堆積 (ALD) の機器に広く使用されています.そして冷却特に光電子機器,MEMS生産,電力半導体製造において,サファイアリフトピンはコア部品になりました.

Q&A

Q1: なぜセラミックや金属ではなくザファイアリフトピンを選んだのか?

A1: サファイアリフトピンは,化学的耐性や熱安定性が高く,腐食性ガスや高温環境で長期にわたって動作できる.

Q2: サファイアリフトピンは使用中に粒子を発生させますか?

A2: 非常に滑らかな表面があるため,サファイアリフトピンは粒子の生成のリスクが非常に低いため,超清潔なプロセスに最適です.

Q3: 異なる機械にはカスタムなサファイアリフトピンが必要ですか?

A3: はい,機械のモデルとプロセス要件に応じて,サファイアリフトピンは,サイズ,形状,接続インターフェイスでカスタマイズする必要があります.

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