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EM8000は2014年に発売された中国で最初のショットキー走査電子顕微鏡であり、それは特に大学の顧客から市場から多くの肯定的なコメントを受けていました。
Muti言語操作システム、トラックボールとの統合されたリモートコントロールパネル、生涯にわたる技術サポートとの包括的なアフターサービスプランで、それは顧客の間で良い評判を楽しんでいます。
60年以上にわたるSEMの製造経験を基にしたKYKYとして、EMシリーズはSTM、AFM、加熱ステージ、低温ステージ、引張ステージ、電子ビームリソグラフィリモデリング、フォーカスイオンビームリモデリングなどの古いシステムの改造およびカスタマイズシステムをSEM +としてサポートします。マイクロ - ナノマニピュレータ等システムはまた、市場にある分析検出器の大部分を取り付けるためのチャンバに複数のインターフェースを有する。
EM8000は2014年に発売された中国で最初のショットキー走査電子顕微鏡であり、それは特に大学の顧客から市場から多くの肯定的なコメントを受けていました。
利点:
◆ショットキー電子銃、高輝度、良好な単色性、小さいビームスポット、長い寿命
◆安定したビーム電流、低エネルギー拡散
◆低真空対応
◆簡単、便利、そしてフレンドリーな操作インターフェース
◆2年間の内訳記録
仕様:
項目 | KYKY-EM8000F Std FEG SEM | |
解決 | 1.5nm @ 15KV(SE)3nm @ 20KV(BSE) | |
倍率 | 15倍〜800000倍 | |
電子銃 | ショットキー電界放出電子銃 | |
加速する航海 | 0〜30kV | |
真空システム | イオンポンプ、ターボ分子ポンプ、メカニカルポンプ | |
探知機 | ◆高真空二次電子検出器(検出器保護付き) | |
◆半導体四分割後方散乱検出器 | ||
試料ステージ | 5軸偏心電動ステージ | |
旅行 | バツ | 0〜80mm |
範囲 | Y | 0〜50mm |
Z | 0〜30mm | |
R | 360° | |
T | -5°〜70° | |
最大試験片直径 | 175mm | |
付属品 | X線検出器(EDS)、EBSD、CL、WDS、コータ、オーバーサイズステージなど | |
変形 | EBL; STM; AFM;加熱ステージ;低温ステージ;引張ステージ;マイクロナノマニピュレータ; SEM +コーター; SEM +レーザー |