製品詳細
イオンポンプ、3L-50、DN100CF、55L / s空気、12L / s Ar、-5KVスパッタイオンポンプはクリーンで超高真空を得るための真空発生装置です。
スパッタイオンポンプはオイルレス超高真空セットのメインポンプです。
イオンポンプは閉鎖系で作動し、連続作動式補助ポンプを必要としない。
原理:
陽極の材質はステンレス樽、陰極の材質はチタン板です。
ペニング放電プロセスは、磁界と電界の共同作用によりガスをイオン化し、ガスの排出を実現します。
三極管イオンポンプは、不活性ガスのポンピング速度を上げるために改良されている。
不活性ガスのイオンは、陰極のチタングリッドに斜入射し、その後中和され、チタン膜で埋め込まれるためにポンプ壁と陽極に反射される。
陽イオン衝撃によってポンプ壁に埋まっている不活性ガスは放出されないので、不活性ガスの排気速度は増加する。
利点:
1.高真空度
振動ゼロ
ノイズゼロ
4.清潔さ
5.作動すること便利
アプリケーション:
高エネルギー粒子加速器、制御熱核反応装置、電気真空装置、半導体材料、電子顕微鏡、質量分析計などの科学実験装置や超高真空を必要とする他の産業機器に適用することができる。
仕様:
モデル | 3L-50 |
フランジ | DN100CF |
ポンプ速度(L / S) | (空気) | 55 |
排気速度 | (アル) | 12年 |
起動圧力(Pa) | ≦5×10 -4 |
到達圧力(Pa) | 7×10 -8 |
(℃)焼成温度 | | <200 |
磁気を使って |
磁気なし | <300 |
動作電圧(KV) | -5 |
電極ユニット | 2 |
寸法(mm) | 90×90(4-M6) |
L * W * H(mm) | 290×120×299 |
(kg)重量 | 22 |
会社概要
KYKYの技術CO.、株式会社は真空の技術の1958年、開拓者および中国の電子光学に、創設された。過去の60年では、KYKYは世界中顧客へ広範囲の真空の解決を提供することに専用されていた。
KYKYは中国のターボ分子ポンプ、商業ヘリウムの漏出探知器および走査型電子顕微鏡の最初のセットを発明した。
KYKYは私達の顧客に真空の技術解決、相談およびサービスを提供する。主要なプロダクトは生命科学、薬工学、自動車産業、大気および宇宙空間、エネルギー産業、建築材、現代装飾、上限の家電、等の分野で加えられる。
技術の革新および顧客のオリエンテーションの精神。KYKYは中国の真空の企業のそれ以上の開発に絶えず貢献する。
KYKYの技術CO.、株式会社はシリーズ分子ポンプ、シリーズ分子ポンプ場、シリーズ イオン ポンプ、シリーズ
ゲート弁および支持のコントローラーを含む真空の世代別プロダクトのR & Dそして製造業で経験の多くの年を、過す。
70年代のターボ最初の縦の分子ポンプを発達させること以来、KYKYは常に方向づける
需要主導の市場に、私達の顧客の条件を満たすことを向け絶えず革新、次々にKYKYの成長の企業の精神の新製品を進水させる磁気的に浮揚されるシリーズ
ターボ オイルの油を差された分子ポンプ、グリース油を差されたシリーズ分子ポンプおよびCXFシリーズを進水させる
分子ポンプ。
KYKYの分子ポンプは広く質量分析計および表面の検光子の、光学撮影、パネル・ディスプレイ、イオン・エッチング、ディスク製造業、太陽電池および照明企業と学術機関およびR
& Dの協会への分野に取り付けるために加えられる。優秀なコスト
パフォーマンスによって、これらのプロダクトはユーザーの大半からのよい評判に勝つ。良質プロダクトは質の私達の連続的な技術的な進歩そして追求から得られる。
KYKYは私達の連続的な革新、情熱によって顧客にあくまでよりよいプロダクトおよび良質のサービスを提供する
責任。