磁気的に浮揚されたターボポンプおよびポンプ施設管理CXF-250/2301E

磁気浮上分子ポンプは、軸力が磁力によって支えられるポンプです。

シリーズ磁気浮上式分子ポンプは、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野の用途要件を満たすためにKYKYによって開発された真空発生装置です。

テクノロジ：

• 磁気軸受の制御技術：高度な国際制御理論に基づいて、安定した浮上で信頼性の高い動作などの高速軸系加工の重要な利点を保証するための5軸磁気浮上。
• モーター駆動制御技術：モーターの最大エネルギーを持ち、自動的にシャフトの回転速度を補償することにより、安定した起動、信頼性の高い動作、動的エネルギーの自動調整機能を実現する、高効率高速DCモーターとサーボ制御システム。
• カーボンファイバーコンポジットローター技術：高強度アルミ合金と軽量カーボンファイバーを配合。 大幅な軽量化と大幅な強度向上を特徴とし、高速回転、高性能、高信頼性を実現しています。
• 耐食性技術：チャンバー内の部品の表面は特殊な工程で処理されているため、半導体製造工程において腐食性ガスによる腐食に長時間耐えることができます。 また、ポンプ内の低真空部分を保護するためにポンプの軸にN2などの不活性ガスを十分に充填しているため、腐食性ガスを長期間安定して排気する機能が実現されます。
• 加熱温度制御システム：電気ヒーターと温度コントローラーを装備し、冷却水、エアーボーン加熱、電気加熱、および保護ガスによる熱の伝達を監視および制御し、ポンプ内の温度を一定の値に維持することができます。長期的には、気体物質の中には常温では固体物質に変換されずにポンプ内に堆積しないものがあり、エッチングなどの特別なプロセスの要件を満たすことができます。

アプリケーション：

シリーズ磁気浮上分子ポンプは、主に半導体製造、クリップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野、特にエッチング、CVD、PVDおよびイオン注入に存在する腐食性ガスの抽出および常温で容易に凝固するガスの分野に適用される。

仕様：

KYKYの技術CO.、株式会社は真空の技術の1958年、開拓者および中国の電子光学に、創設された。過去の60年では、KYKYは世界中顧客へ広範囲の真空の解決を提供することに専用されていた。

KYKYは中国のターボ分子ポンプ、商業ヘリウムの漏出探知器および走査型電子顕微鏡の最初のセットを発明した。

KYKYは私達の顧客に真空の技術解決、相談およびサービスを提供する。主要なプロダクトは生命科学、薬工学、自動車産業、大気および宇宙空間、エネルギー産業、建築材、現代装飾、上限の家電、等の分野で加えられる。

技術の革新および顧客のオリエンテーションの精神。KYKYは中国の真空の企業のそれ以上の開発に絶えず貢献する。

KYKYの技術CO.、株式会社はシリーズ分子ポンプ、シリーズ分子ポンプ場、シリーズ イオン ポンプ、シリーズ ゲート弁および支持のコントローラーを含む真空の世代別プロダクトのR & Dそして製造業で経験の多くの年を、過す。

70年代のターボ最初の縦の分子ポンプを発達させること以来、KYKYは常に方向づける

需要主導の市場に、私達の顧客の条件を満たすことを向け絶えず革新、次々にKYKYの成長の企業の精神の新製品を進水させる磁気的に浮揚されるシリーズ ターボ オイルの油を差された分子ポンプ、グリース油を差されたシリーズ分子ポンプおよびCXFシリーズを進水させる

分子ポンプ。

KYKYの分子ポンプは広く質量分析計および表面の検光子の、光学撮影、パネル・ディスプレイ、イオン・エッチング、ディスク製造業、太陽電池および照明企業と学術機関およびR & Dの協会への分野に取り付けるために加えられる。優秀なコスト パフォーマンスによって、これらのプロダクトはユーザーの大半からのよい評判に勝つ。良質プロダクトは質の私達の連続的な技術的な進歩そして追求から得られる。

KYKYは私達の連続的な革新、情熱によって顧客にあくまでよりよいプロダクトおよび良質のサービスを提供する

責任。