中国CVDオーブン製造,シリコンカービッドコーティングマシン

中国 シリコンカービードコーティングのCVDオーブン製造

この装置は,炭素基/セラミック基の材料のシリコンカービードコーティングに使用されます.特に半導体の表層にシリコンカービッドが堆積し,エピタキシアル受容体とエッチリング.

化学蒸気堆積 (CVD) プロセスに使用されるCVD炉.化学蒸気堆積は,蒸発した前駆ガスと加熱された表面との間の化学反応を使用して,薄膜が基板に堆積されるプロセスである..

エピタキシアルベース 高純度グラフィットディスク 円の溝で ウェファーの基板を固定する炉に入れた後 表面に結晶膜の層が成長します 結晶膜は上軸層です石版画やイオン植入などのウェッファープロセスは全て表頭層で行われます.

明らかに,グラフィット製の表軸基は,半導体プロセスにおける超高い清潔性要求を満たすことはできません.密度の高いシリコンカービッドフィルムを 基に敷き詰めるために 化学蒸気堆積を 使う必要があります

• デザイン 基準

設備は,品質技術監督局の圧力容器要件に従って設計され,圧力試験を経て合格し,出荷されます.電気設計と建設は,国家基準を満たしています.

• 設置前試験と受付前試験

すべてのパイプライン,真空パイプライン,プロセスガスパイプライン,冷却水パイプライン,圧縮空気パイプラインなど設置後には予備試験を行うことができる.設備以外のパイプラインは顧客が提供します. 設置にはすべてのケーブルの接続も含まれます.電源キャビネットを接続するメインケーブルは顧客が提供します設置後,私たちは真空と正圧の漏れを検査し,機械的および電気的機能テストを行います.

• 解体 と 輸送

装置はいくつかの大きな部品に分解され,標準化された方法で梱包され,輸送車に積まれます.

• 顧客サイトの設置と運用

レデルのアフターセールスエンジニアは 20日以内に チームを指揮し 稼働させ 試製品燃焼等を完了します顧客は適切な準備をし,必要な道具を提供する必要があります.設置スタッフのサポート (機械スタッフ1名と電気スタッフ1名とすることが推奨されます).

• 最終 的 承認

装置の設置と投入後,技術契約の要件に従って,設備を最終的に承認することができる.

• 訓練

販売後技術者は 運用,保守,トラブルシューティングなどを含む 組織的で完全な現場訓練を 提供します

• 技術データ提供

安全な運用と設備の保守を保証するために,次の技術データは顧客に提供されます.

1設備の設置図

2ユーザーマニュアル

3部品リスト

4電気図

5部品の説明書

よくある質問

あなたは工場か貿易会社ですか.

Q: 工場ですか? それとも貿易会社ですか?

A:私たちは中国のトップの高温真空炉メーカーで,10年以上の経験があります.

オーダーメイドやOEMサービスがありますか?

Q: オーダーメイドまたはOEMサービスがありますか?

A:はい,私たちは強力なR&Dチームとハイテク機器を持っています. だから,私たちは通常のモデルだけでなく,私たちのクライアントのリプーリメントとしてカスタマイズ可能なオーブンを供給することができます.

あなたの優位性は?

Q:あなたの利点は?

A: その通り

迅速な回答です

l 高品質管理

安定したサプライチェーン

間に合う配達

優れたアフターサービス

       ジュ州・ルイデール・インテリジェント・エクアピメント・株式会社工業連鎖全体のための粉末メタルジカルソリューションのメーカーです. シンタリングオーブンのプロセス開発,生産,販売,コーティングサービスを統合しています.PVDコーティングオーブンとCVDコーティングオーブンルイデールは1万9000平方メートル以上の面積をカバーする標準化ワークショップとオフィスビルを持ち,170人以上の従業員を抱えています.ルイデール社の生産性は1年に120セットの圧縮シンテリング炉に達する半億枚のPVDコーティングと25万枚のCVDコーティングです

過去数年,ルイデールは,全国的なハイテク企業として評価され,全国レベルの専門的で洗練された企業 (2022年に全国的な鍵となる小さな巨大企業として指定),湖南省の小さな巨大企業です湖南省の圧迫シンタリング炉の唯一のチャンピオンであり,知的財産権の許可を85を取得しました.

もう少しだ400脱脂ガス圧圧シンタリング炉のセット,および180客のニーズに常に応え,それを超えられるように,ルイダー社は顧客に"ターゲット化されたアプリケーション,重要な開発国内外 (米国,ロシア,EU,日本,ウクライナ,韓国,ベトナムなど) で販売されています.国内顧客に24時間対応サービスを提供するルイダー社の製品は,セメント化カービッド,セラミック,MIMステンレス鋼,半導体産業で広く使用されています.

"品質を重視し 継続的なイノベーション サービス満足度 団結と勤勉さ 共同開発"の企業精神に沿ってルイデールは市場需要とビジネス開発に導かれます顧客のニーズを緊密に追及し,安定した信頼性の高い技術製品で顧客にサービスを提供し,粉末メタルジーの分野での応用に貢献することにコミットしています!

私たちの標準的なシンテリングオーブンのモデルには,以下が含まれます (ただし,これらに限定されません):

• ガス圧圧シントインテグレートオーブン ((1MPa/2MPa/6MPa/10MPa)
• 溶接式真空シンタリング統合炉
• MIM 不oxidable steel sintering furnace ステンレス鋼のシンタリングフーン
• シリコンナイトリドシンテリングオーブン
• シリコンカービードシンテリングオーブン
• メタルシンテリングオーブン (Mo/Wヒーター)
• バキューム溶融炉
• CVDコーティングオーブン