PVD+PECVDの真空沈殿システム、PECVDプロセスによるDLCのフィルムのコーティング

ロイヤル・テクノロジー・マルチ950
PVD + PECVD 真空堆積機

Multi950機械は,研究開発のための多機能の真空堆積システムです.

チェン教授が率いる上海大学チームとの 激しい交流の後 最終的に設計と構成を 確認し,研究開発アプリケーションを 実現しましたこのシステムは,透明なDLCフィルムをPECVDプロセスで保存することができます.この実験機械設計コンセプトに基づいて,その後3つの他のコーティングシステムを開発しました.

1燃料電池用電気自動車のための二極板のコーティング- FCEV1213

2セラミック 直接塗装銅-DPC1215

3柔軟なスプッティングシステム-銅PCBゴールドプレートシステム

これらの3つの機械は,それぞれオクタゴナル・チャームがあり,様々なアプリケーションで柔軟かつ信頼性の高いパフォーマンスを可能にします.これは,コーティングプロセスを満足させ,さまざまな金属層を必要とします.,Cr,Cu,Au,Ag,Ni,Sn,SSなど多くの非鉄磁性金属ですプラズマエッチング性能により,異なる基板材料に対するフィルムの粘着性を効率的に向上させ,炭素基層を堆積するPECVDプロセスです

マルチ950は ロイヤル・テクノロジーの 先進的な設計のコーティングシステムの里程碑です上海大学の学生や 創意的で無私な献身で 指導してくれた 教授に感謝します彼の貴重な情報を 最先端の機械に 変えることができました

チェン教授と 協力したプロジェクトがありました
C-60材料の堆積は,誘導熱蒸発法によるもの.
イムオウ・ヤン氏と チェン教授は これらの革新的なプロジェクトにとって 根本的な役割を果たしました

技術 的 利点

• コンパクトな足跡
• 標準モジュール設計
• 柔軟性
• 信頼性
• 八角室構造
• 簡単にアクセスするための2ドア構造
• PVD + PECVD プロセス

デザイン の 特徴

1柔軟性:アーチとスプッティングカソード,イオン源のマウントフレンジは柔軟な交換のために標準化されています

2汎用性:様々な不金属と合金,光学コーティング,硬コーティング,柔らかいコーティング,複合フィルムと固体潤滑フィルム,金属および非金属材料の基板

3ストレート・フォワード・デザイン: 2ドア構造,前と後ろの開口が容易なメンテナンスのため

テクニカル仕様

モデル:マルチ-950

堆積室 (mm)

直径 × 高さ: φ950 × 1350

堆積源: 1 組のMFスプッターカソード

1対のPECVD

8組のアーチカソード

1セット 線形イオン源

プラズマ均一性ゾーン (mm): φ650 x H750

カロセル: 6 xφ300

パワー (KW) バイアス: 1 x 36

MF スプッターパワー (KW): 1 x 36

PECVD (KW): 1 × 36

弧 (KW): 8 × 5

イオン源 (KW): 1 x 5

ガス制御システム MFC: 4 + 1

暖房システム: 18KW,最大500°C,熱カップルPID制御

高真空ゲートバルブ: 2

ターボ分子ポンプ: 2 x 2000L/S

根ポンプ: 1 x 300L/S

ローータリーバネスポンプ: 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h

足跡 (L x W x H) mm: 3000 * 4000 * 3200

総電源 (KW): 150

レイアウト

上海・ロイヤル・テクノロジー・インク (Shanghai Royal Technology Inc.) は2006年に設立され,世界各地の主要拠点を持つ高品質の真空設備の世界的なサプライヤーです.研究開発技術は,米国と中国の専門技術者によってサポートされています上海にハイテクの機械製造施設があり グローバルなサービスセンターネットワークは 重要な場所で迅速な顧客サービス対応を保証しています

上海・ロイヤル・テクノロジーは 革新的なデザインと 高品質な部品の選択に強い関心を持っています優れた技術者や発明家のチームです高水準の真空設備で,西洋標準を満たし,しばしば超えて提供することができます.グローバル市場を支えるよう努めています:

消費者電子機器,自動車,再生可能エネルギー,建築,ナノおよび生物医学材料

RTASモデル,アーチとスプートリングの統合シリーズ機器は,高品質の装飾コーティングのために特に反射性のある黒と青銅フィルムを生産することができます.

RTSP1200-FCEVは,水素燃料電池電源モジュールに薄膜を堆積させるPECVDプロセスによる噴射システムである.燃料電池自動車は 環境に優しい自動車の次世代の最新技術です乾電池のような一般的に使用される電池と比較して主な利点と技術的進歩は,繰り返し充電プロセスを経験する必要があります.しかし,水素燃料電池の電源モジュールは,運転のための電力を生成するために水素と酸素反応のみを必要とします.

RTSP1200-DPC,このコーティングシステムは,DPC (Direct Plating Copper) セラミック基板のプロセスにのみ使用されます.DPCセラミック基板は,様々な用途で広く使用されています:例えば高明るさのLEDでは 高熱放射線性能のため 長寿を高めます電子機器,様々なセンサー基板,航空宇宙,鉄道輸送,電気電力などです

RT-CsI950,蒸発コーティングプラントは,X線イメージング装置のためのCsIフィルム堆積に適用されます.高品質の画像を作成するために画面にCsIを蒸発させる先進技術です.医療機器で非常に効率的で破壊的であることを可能にする核エネルギー産業,セキュリティチェックと検査,高エネルギー物理学など

上海ロイヤルテクノロジーはまた,自動車ロゴボードコーティングに使用されるキューブとシリンダーモデルの大型アルミ真空金属化システムを設計・開発した.

地域生活 グローバル思考は私たちのビジョンです 私たちは"誠実さと連帯"という概念で 日々の仕事をしています革新を常に追求し,世界各地のパートナーとのエコシステムで双方の利益を得る状況を実現する.バキュームコーティング機器産業の先駆者として 過去の成果に 頼ることはありませんでしたしかし,我々は常に常に変化する世界を探求しようと試みた 真空コーティング産業 常に最適な経済的な顧客にとって社会的・環境上の利点です

王国 技術 の 文化

ロイヤルのビジョン顧客の要求に完全なソリューションを提供する世界的に有名なブランドのサプライヤーです.

王国の使命労働者の労働環境を改善し,労働効率を向上させ,生産コストを完全に削減する.

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