高純度クォーツガラスプレートJGS1/JGS2/JGS3 高伝染性

​​カスタマイズされた高純度石英ガラスプレート JGS1/JGS2/JGS3 高透過率​​

溶融シリカは、高純度の二酸化ケイ素を高温で溶融し、急速冷却して形成される非晶質材料です。優れた光学特性、熱安定性、および化学的慣性を示します。純度レベルと紫外線透過率に基づいて、次の3つのグレードに分類されます。JGS1、JGS2、およびJGS3。

光学性能による分類:

1. JGS1 (遠紫外線光学溶融シリカ)

• SiCl₄ を原料として使用し、高純度の水素酸素炎で溶融して製造されます。高い水酸基含有量（≈2000 ppm）を含み、特に短波UV領域において優れた紫外線透過率を示します。透過率は185 nm で90%を超えます。合成溶融シリカは、2730 nm に強い吸収ピークを示し、粒状構造はありません。185～2500 nm の範囲に最適な光学材料です。

2. JGS2 (紫外線光学溶融シリカ)

• 結晶性原料からガス精製によって製造されます。数十ppmの金属不純物を含みます。2730 nm に吸収ピーク（水酸基含有量：100～200 ppm）があり、縞模様と粒状構造があります。220～2500 nm の波長範囲に適した材料です。

3. JGS3 (赤外線光学溶融シリカ)

• 結晶性または高純度の石英砂原料から、真空加圧炉（電気溶融法）を使用して製造されます。数十ppmの金属不純物を含みます。気泡が最小限で、微細な粒状構造、縞模様があり、OH含有量は無視できます。高い赤外線透過率（>85%）を提供します。260～3500 nm の範囲の光学材料として適用できます。

石英ガラス JGS1/JGS2/JGS3 の主な用途分野

1. ハイエンド光学システム

• JGS1：DUVリソグラフィーマシン用レンズ、宇宙望遠鏡ミラー、UVレーザーコリメートコンポーネント。
• JGS2：カメラレンズ、プロジェクタープリズム、顕微鏡対物レンズなどの消費者向け光学デバイス。
• JGS3：赤外線熱画像装置用窓、CO₂ レーザー用集光ミラー。

2. 半導体製造

• フォトマスク基板：JGS1 は、超低熱膨張係数（5.5×10⁻⁷/℃）と高いUV透過率により、EUVリソグラフィーフォトマスク基板の主要材料です。
• ウェーハ処理キャリア：JGS2 は、半導体拡散炉管やボートホルダーなどの高温承载コンポーネントに使用されます。

3. レーザー技術

• 高エネルギーレーザーシステム：JGS1 は、Nd:YAGレーザー用の共振器ミラーの製造に使用されます（レーザー誘起損傷閾値：15 J/cm²）。
• 赤外線レーザー伝送：JGS3 は、10.6 μm の波長での CO₂ レーザー伝送ケーブルに適しています。

4. 航空宇宙

• 宇宙船窓：JGS1 は、衛星光学リモートセンサーの耐放射線窓に使用されます（宇宙放射線に耐えます）。
• ミサイルドーム：JGS3 は、その優れた耐熱衝撃性（ΔT > 1000°C）により、極超音速機の赤外線シーカーヘッドに適用されます。

5. 特殊照明

• UVランプ：JGS1で作られた高純度UVランプは、水処理および医療滅菌に使用されます。
• 水銀ランプハウジング：JGS2 は、高温衝撃に耐える高圧水銀ランプ用の透明ハウジングの製造に使用されます。

5. 科学研究機器

• シンクロトロン放射光施設：JGS1 は、ビームライン窓およびモノクロメーターコンポーネントに使用されます。
• 粒子検出器：JGS2 は、チェレンコフ放射器の透明媒体として機能します。

石英ガラス JGS1/JGS2/JGS3 の加工特性

• 精密アニーリング：多段階勾配アニーリング（最大1300°C）により、内部応力が除去され、光学歪みが防止されます。
• 表面処理：磁気レオロジー研磨（MRF）により、Raの表面粗さが実現されます。< 0.5 nm（EUVリソグラフィーに適しています）。
• コーティング技術：適用可能なコーティングには、反射防止（AR）、高反射（HR）、および耐食性コーティング（例：フッ化マグネシウム）が含まれます。

石英ガラス JGS1/JGS2/JGS3 の光学特性

石英ガラス JGS1/JGS2/JGS3 の標準仕様

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Q1: JGS1、JGS2、およびJGS3 溶融シリカの主な違いは何ですか？
A1: JGS1 は、90%以上のUV透過率（185nm）と2000ppmのOH含有量を提供し、JGS2 は、220-2500nmの透過率と200ppmのOHを提供し、JGS3 は、85%以上のIR透過率とほぼゼロのOH含有量を提供します。

Q2: UVレーザー用途に最適な溶融シリカグレードはどれですか？
A2: JGS1 は、185nm で90%以上の透過率と15J/cm²のレーザー損傷閾値があるため、UVレーザーに最適です。

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