8インチ 12インチ ワッフル 切断のための完全自動精密切断 ソー機器
産地:中国
最低注文量:2
働くサイズ::Φ8" Φ12"
刃のサイズ::2~3cm
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Shanghai Shanghai China
住所：
部屋1-1805,No.1079 ダイアンシャンフ・ロード 清浦地区 上海市,中国 /201799
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製品詳細
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抽象
8インチ 12インチ ワッフル 切断のための完全自動精密切断 ソー機器
完全自動精密切断サーグは,高精度で分断できる半導体切断システムで,ホイール (8"/12")
と脆い材料を分断する.ダイヤモンドの刃の技術を使用する (30,000-60,000 RPM) で,微米レベルの切断精度 (±2μm)
を最小切片 (<5μm)
で達成し,半導体および先進パッケージングアプリケーションにおける代替方法に優れている.システムには高硬さスペンドルが組み込まれています,ナノメトリク位置決定段階,無人操作のためのインテリジェントビジョンアライナメント,近代チップ製造と第三世代の半導体加工の厳しい要件を満たす.
技術パラメータ
| パラメータ | 仕様 |
| 作業サイズ | Φ8" Φ12" |
| スピンドル | 双軸 1.2/1.8/2.4/30最大60000回転/分 |
| 刃の大きさ | 2~3cm |
| Y1 / Y2軸 | 単段増幅: 0.0001 mm |
| 定位精度: < 0.002 mm | |
| 切断範囲: 310mm | |
| X軸 | 給餌速度範囲:0.1~600 mm/s |
| Z1 / Z2軸 | 単段増幅: 0.0001 mm |
| 定位精度: ≤ 0.001 mm | |
| θ 軸 | 定位精度: ±15" |
| 清掃所 | 回転速度:100~3000回転/分 |
| 清掃方法:自動洗浄&乾燥 | |
| 稼働電圧 | 3相 380V 50Hz |
| 寸法 (W×D×H) | 1550×1255×1880 mm |
| 体重 | 2千100kg |
利点
1高速カセットフレームスキャンと衝突防止警報システムは,迅速な正確な位置付けと優れたエラー修正能力を可能にします.
2. 革新的な2つのスピンドル同期切断モードは,単一のスピンドルシステムと比較して,処理効率を80%向上させます.
3プレミアム輸入ボールスクリュー,線形ガイド,Y軸格子閉ループ制御は,長期の加工安定性を保証します.
4完全自動操作 (積載/配置/切断/検査) は手作業を大幅に削減します.
5. 独特のゲントリ式の2つのスピンドル設計で,最低24mmの刃の間隔は,さまざまな切断要件に対応します.
特徴
1高精度な非接触高さ測定システム
2複数のホイールを同時に2つの刃で切れる
3知的検出システム (自動校正/切断マーク検査/刃の破損監視)
4複数のモードのアライナメントアルゴリズムで,様々なプロセス要件に適応できます.
5自動エラー修正のリアルタイム位置監視
6ファーストカット品質確認メカニズム
7工場自動化モジュールの統合
適応材料と応用
| 材料 | 典型的な用途 | 処理要件 |
| アルミナイトリド (AlN) | 高出力熱基板,LEDパッケージ | 低ストレスの切断,デラミネーション防止 |
| PZT セラミック | 5Gフィルター,SAW装置 | 高周波安定切断 |
| ビスムスのテルリド (Bi2Te3) | 熱電気モジュール | 低温加工 |
| モノ結晶性シリコン (Si) | ICチップ | サブマイクロン切断精度 |
| エポキシー型化合物 | BGA基板 | 多層材料の互換性 |
| Cu 柱/PI ダエレクトリック | WLCSP | 超薄質のウエーファー加工 |
加工効果
Q&A
1Q: 完全自動精密切断サーガは何のために使われますか?
半導体 (シリコン,SiC) 陶器やガラスホイールなどの 繊細な材料を 高精度で切るため 微小レベルの精度を最小限の損傷で
達成できます
2Q: 自動切断は 半導体生産をどのように改善するのでしょうか?
A: 主要な利点:99±2μmの精度で0.9%の出力,手動操作より50%速く,超薄いウエフルを切る
(<50μm),ツール汚染ゼロ.
タグ: #完全自動精密切断サーブ機器, #8インチ12インチ, #Wafer Cutting
8インチ 12インチ ワッフル 切断のための完全自動精密切断 ソー機器
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