サファイア・カイ結晶化炉 キロポロス泡処理 LED基板のための大型結晶増殖装置
モデル番号:サファイア結晶炉 kyropoulos
産地:中国
最低注文量:1
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Shanghai Shanghai China
住所：
部屋1-1805,No.1079 ダイアンシャンフ・ロード 清浦地区 上海市,中国 /201799
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製品説明
サファイア・カイ結晶化炉 キロポロス泡処理 LED基板のための大型結晶増殖装置
Kyropoulos bubble method (Ky method for short) is a melt growth method by dipping seed crystals into molten sapphire melt and taking them out at a controlled rate when the crucible and crystal are reversedこの方法により高品質,低欠陥密度,大型サイズのサファイア結晶を育てることができ,LED基板やその他の分野で広く使用されています.
技術パラメータ
| 溶解量: | ≥200kg |
| 炉穴の高さ: | Φ800×1200mm |
| シングルクリスタル引力速度範囲: | 0.1 ~ 20mm/h ステップレス速度調節 |
| 種子結晶の急速な上昇/減少: | 0-150mm/min ステップレス速度調節 |
| 種子の速度範囲: | 1 ~ 20r/min ステップレス速度調節 |
| 種子結晶軸の最大持ち上げ筋: | 400mm |
| 熱力: | 120KW |
| 最大加熱温度: | 2100°C |
| 電源 (受信線) | 3相 380V |
| 出力電流: | 0〜10000A DC |
| 出力電圧: | 0〜12.5V DC |
| ホストの最大高さ: | 2800mm |
| 炉室の限界真空: | ≤6.7×10-3 Pa |
| 双重負荷セル: | 100kg (単体) |
| 体重: | 約1500Kg |
| 機械の重量: | 約2000kg |
| メインマシンエリア: | 3800×2100mm |
| 機械は以下の面積をカバーする. | 4000×3100mm |
| 入口圧: | 0.3MPa±0.02MPa |
| 水の入口温度: | 20 ~ 25°C |
作業原理
熱場設計と種子の制御に 基礎を置いています 高純度アルミ酸化原材料を装置はそれを溶かして,上部では高温,下部では低温の温度分布モードを形成します.種子結晶は 溶融表面の中心部から成長し 種子結晶は 核として溶融し 溶融は 溶融器から結晶壁へと 層ごとに結晶化します最終的に単一の結晶を形成する.
製品構造と特性
1熱場設計:溶融の均等結晶化を確保するために,ピグブル,熱保護層,上部種子熱交換器,ピグブルサポートボディなどを含む.
2種子結晶制御精密に温度グラデーションと 種子結晶の引き上げ速度を制御することで 高品質の結晶の成長が達成されます
3自動化システム:現代機器は通常,自動植樹システムと自動制御システムで装備されており,効率的に生産することができます.
技術の利点
1高品質の水晶:低欠陥密度で大きなサイズのサファイア結晶を育てることができ,高品質の基板に対するLED業界の需要を満たします.
2比較的低コスト:他の方法 (Czochralski 方法など) と比較すると,Ky 方法は運用の複雑性が低く,コストは比較的制御可能である.
3技術革新:改良されたKy方法 (IKY) は,種子と首を引っ張る技術を最適化することで,結晶の生産量をさらに向上させ,生産コストを削減します.
機械の適用
キロポロスの泡処理機器は,以下の分野で広く使用されています.
1LED産業:高品質のサファイア基板を製造するために使用され,LEDチップ製造のニーズを満たします.
2軍事用赤外線装置サファイア は 優れた 光学 特質 の ため,赤外線 窓 の 材料 に 広く 用い られ て い ます.
3衛星宇宙技術:サファイアは衛星技術における 重要な材料として使用されています
4レーザー窓材料:高性能レーザー窓材料に使われる
高い効率,低コスト,高品質で,サファイア結晶の成長の分野で重要な位置を占めています.高技術分野では広く使用されています.
よくある質問
1Q: 他の結晶増殖方法と比較して,サファイア結晶化炉 (キロポロス・ブリスター方法) の主な利点は?
A: 1. 種子結晶を連続的に引き出す必要がない:
均質直径の成長段階では,結晶は機械的な引き上げに頼らず,自然冷却によって結晶化されます.メカニカル障害や欠陥を軽減する.
2. 大型の結晶に適しています:LED基板や光学窓アプリケーションなどの産業用大量生産ニーズを満たすために85-120kgのサファイア単結を成長させることができます.
3高出力・低欠陥:熱場設計を最適化 (セグメント式ヒーターや多層ヒートシールドなど) 変位密度 (<1000/cm2) を削減し,出力を75%以上高めます.
4エネルギー節約と自動化: 完全に閉ざされた真空室と二層水冷却構造はエネルギー損失を削減します.PLC制御システムと組み合わせて自動操作を実現し,手動介入を減らす.
2Q: バブルメソッド機器と伝統的なリフティング方法 (Czochralski方法など) の作業原理の根本的な違いは何ですか?
A: 1. 成長段階の違い: 引き上げ方法:
プロセス全体では,種子結晶を機械的に引き上げなければなりません.機械的振動による欠陥を引き起こすのは容易である泡の成長方法:
種子結晶を引っ張るためのネッキング段階のみ,同じ直径の段階は,温度梯子の自然成長に依存し,ストレスを軽減し,結晶の均一性を改善します.
2. 熱場制御: バブル成長方法は,二重温度ゾーン独立加熱 (サイド加熱体+下加熱体) を採用します.軸間と半径間温度グラデーションを正確に調整する昇降規則は単一の加熱源に依存し,温度グラデーションは固定されており,大きな結晶の成長に適応することは困難です.
3適用シナリオ: バブル方法は,大きなサイズ,高純度結晶 (サファイア,カルシウムフッ化物など) により適しており,ティラ方法は,主にシリコンに使用されています.ゲルマニウムおよび他の従来の半導体材料.
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サファイア・カイ結晶化炉 キロポロス泡処理 LED基板のための大型結晶増殖装置
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