OPTO-EDU A63.7005 スコットキー場放射スキャニング電子顕微鏡 SE BSE 100000x 2.5nm@20KV
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製品詳細
会社概要
製品詳細
主な仕様： 1. 加速電圧：1-15kV、連続可変。 2. 電子銃タイプ：ショットキー電界放出型電子銃（FEG）、高度に統合された2段銃レンズ、対物レンズの絞りを手動で調整する必要はありません。 3. 倍率 ≥1000000X； 4. 解像度:≤2.5nm@15KV 5. 検出器：二次電子検出器（SE）、四重後方散乱電子検出器（BSE）、 6. ステージ：2軸XY電動ステージ、移動60x55mm； 7. 最大サンプルサイズ： XY軸が自由に移動する場合、100*78*68.5mm 8. サンプル交換と高真空ポンピング時間≤ 180秒。 9. 高真空システム：メカニカルポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンポンプx2、サンプルチャンバー内の真空≥4x10-2Pa、全自動制御； 10. ビデオモード≥512x512ピクセル、小窓スキャン不要。 11. クイックスキャンモード：画像取得時間≤3秒、512x512ピクセル。 12. スロースキャンモード：画像取得時間≤40秒、2048x2048ピクセル。 13. 画像ファイル：BMP、TIFF、JPEG、PNG。 14. ワンキー自動輝度・コントラスト調整、オートフォーカス、大画像ステッチング 15. ナビゲーション機能：光学カメラナビゲーションとキャビンカメラ。 16. 画像測定機能：距離、角度など。 17. コンピュータ＆ソフトウェア、マウス制御を含む。 18. オプション： --タングステンフィラメント（20個/箱） --EDS --3軸電動ステージXYZ --3軸電動ステージXYT --5軸電動ステージXYZRT --低真空（1-60Pa） --オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど --減速モード、1-10KV、金スプレーなしで非導体または低導電性サンプルを観察可能、BSEモードのみ --防振プラットフォーム（A63.7005を推奨） 19. 顕微鏡サイズ650*370*642mm、メカニカルポンプサイズ340*160*140mm |
| モデル | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
| 解像度 | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
| 倍率 | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
| 電子銃 | タングステン | タングステン | タングステン | LaB6 | ショットキーFEG |
| 電圧 | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
| 検出器 | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
| ナビゲーションCCD | CCD | CCD | CCD+キャビンカメラ | CCD+キャビンカメラ | CCD+キャビンカメラ |
| 真空時間 | 90秒 | 90秒 | 30秒 | 90秒 | 180秒 |
| 真空システム | メカニカルポンプ 分子ポンプ | メカニカルポンプ 分子ポンプ | メカニカルポンプ 分子ポンプ | メカニカルポンプ 分子ポンプ イオンポンプ | メカニカルポンプ 分子ポンプ イオンポンプx2 |
| 真空 | 高真空 1x10-1Pa | 高真空 1x10-1Pa | 高真空 1x10-1Pa | 高真空 5x10-4Pa | 高真空 5x10-4Pa |
| ステージ | XYステージ、 40x30/40x40mm | XYステージ、 40x30/40x40mm | XYステージ、 60x55mm | XYステージ、 60x55mm | XYステージ、 60x55mm |
| ステージ精度 | - | 位置精度5um | |||
| 作動距離 | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
| 最大サンプル | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
| オプション | タングステンフィラメント20個/箱 | Lab6フィラメント | 電界放出ランプ | ||
| EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30 | |||||
| - | 低真空 1-100Pa | 低真空1-30Pa | |||
| - | Z軸モジュール | 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、Z 25mm | |||
| - | T軸モジュール | 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、T ±20° | |||
| - | - | 5軸ステージ、X 90mm、Y 50mm、Z 25mm、T ±20°、R 360° | |||
| - | - | 防振プラットフォーム、3軸、5軸ステージ用 | |||
| - | 減速モード1-10KV、非導電性サンプルを観察、BSEのみ | ||||
| - | オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど | ||||
| UPS | |||||
▶ TTM用AZtecOne with XploreCompact 30 システム従来のEDS分析 このシステムは、B(5)からcf(98)までの元素を分析し、さまざまな材料の定性および定量分析を提供します。サンプル表面の個々のポイントスキャンに加えて、強力なラインスキャンと元素スペクトルスキャンも利用できます。カスタマイズされた検出器と組み合わせることで、分析とレポート作成を数秒で行うことができます。 |
| 有効結晶面積 | 30mm2 | 解像度（写真の） | Mn Ka <129eV @50,000cps |
| 元素検出範囲 | B (5) to cf (98) | 最大入力カウントレート | >1,000,000 cps |
OPTO-EDU A63.7005 スコットキー場放射スキャニング電子顕微鏡 SE BSE 100000x 2.5nm@20KV
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