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製品の説明:
YJJ AS200 ステンレス鋼 MFC 高精度ガス質量流量コントローラー エアマイクロガス流量計
特徴:
AS200 シリーズ ガス質量流量コントローラー
強力な無料クライアントベースの上位コンピュータソフトウェアを提供
AS200 シリーズ ガス質量流量コントローラーは、さまざまな従来のガスに適しており、ガス質量流量制御測定結果の精度と信頼性を向上させます。再現性精度は最大 0.2% F.S. です。
1x10-0 Pa·m3/秒 He の低いリーク率、良好な気密性により、生産の安全性を確保します。デジタル信号、1～5V アナログ信号、4～20mA アナログ信号など、複数の信号出力をサポートでき、単一電源（+15～+28VDC）を使用でき、さまざまな作業シナリオに適しています。標準的なオープン通信プロトコルは、顧客が制御および取得ソフトウェアを独自に開発するのに便利です。同時に、この製品は、ユーザーのデバッグと操作を容易にする、強力な無料クライアントベースの上位コンピュータソフトウェアも提供します。
AS200 シリーズ製品は、Aosong Electronics によって高度な MEMS 技術を使用して開発されました。センサー駆動、ゼロドリフト制御、バルブ制御など、多くの側面で、製品の高い性能、高品質、高い信頼性を確保するために、コア技術が採用されています。これは、優れた安定性、高精度、低リーク率、および高耐圧性を備えた高品質の機器です。
AS200 シリーズ ガス質量流量コントローラー (MFC) は、主にガス質量流量の正確な制御と測定に使用されます。AS200 は、半導体集積回路技術、特殊材料、化学工業、石油産業、医薬品、環境保護、真空など、さまざまな分野の研究と生産において重要な役割を果たします。その典型的なアプリケーションシナリオには、エピタキシー、拡散、プラズマエッチング、スパッタリング、イオン注入、およびさまざまな CVD 装置などの集積回路プロセス装置が含まれます。光ファイバー溶融、マイクロ反応装置、ガス混合およびガス分配システム、ガスサンプリング装置、キャピラリー測定器、ガスクロマトグラフおよびその他の分析機器などのその他の産業機器。
ガス質量流量コントローラー
電源: 15 - 24V DC (単極)
測定範囲: 1 - 100、2 - 20 3~300SCCM/分
0.03 - 3、0.05 - 5、0.1 - 10、0.2 - 20、
0.3 - 30、0.5 - 50 SLM/分
再現性精度: ±フルスケールの0.2%
応答時間: 1 秒
動作環境: 5 - 45℃
サイズ: 112.8 * 38 * 115 mm
仕様:
| 電源 |
15 - 24V DC (単極)
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| 温度 | -40℃ ~ +80℃ |
| 応答時間 | 50ms |
| 動作環境 | 5 - 45℃ |
