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MTCS2601 厳しい環境におけるプライマリ圧力制御に適した熱伝導性ガスセンサー
原則:
MTCS2601ガスセンサーは,化学反応のない物理原理であるピラニ原理に基づいています.それはガス熱伝導性の変化に基づいて動作します.装置の冷たい部分への隔熱介電膜の加熱抵抗から熱流は,ガス伝導性に依存します室温で加熱部分と装置の"冷たい"部分の信号を測定することで,ガス濃度を得ることができる.
特徴:
適用:
|
記述 |
ポイント |
ミニ |
典型的な |
マックス |
ユニット |
|---|---|---|---|---|---|
| 測定抵抗 @21 - 25°C | Rm1 と Rm2 | 110 | 120 | 135 | オー |
| 基準抵抗 @21 - 25°C | Rt1 と Rt2 | 240 | 270 | 300 | オー |
| 割合 | Rtx/(Rm1 + Rm2) | 1.06 | 1.12 | 1.18 | - |
| 抵抗差 | Rm1 - Rm2 | - 1つ5 | - | 1.5 | オー |
| 抵抗差 | Rt1 - Rt2 | - 3つ5 | - | 3.5 | オー |
| 温度係数 (Rm,Rt) 20〜100°C | α | 0.005 | 0.0055 | 0.006 | /°C |
| ゲオメトリ因数 | G | - | 3.9 | - | mm |
| 熱損失係数 | β | - | 0.101 | - | mW/°C |
| (Rm1 + Rm2) の加熱電流 --- 空気; Ta = 23°C | ほら | - | 6.2 | - | mA |
| (Rm1 + Rm2) での加熱電力消費 --- 空気; Ta = 23°C | P | - | 15.8 | - | mW |
| フィルム温度 | Tm | - | - | 180 | °C |
| 空気温 | タ | - | - | 100 | °C |
| 湿度 --- 凝縮しない | RH | - | - | 100 |
