4SiH4-20 シランガスセンサー (SiH4) ガス濃度検出用
4SiH4 - 20 シランガスセンサーは、シラン (SiH4) ガスの濃度を検出するために使用されるデバイスです。関連情報は以下の通りです。
- 測定範囲：中国インテリジェントマニュファクチャリングネットワークの情報によると、ガス検知器メーカー向けに深セン盛凱安科技が開発した4NEシリーズセンサーの測定範囲は、シランの場合0～5/20/50 ppmであり、4SiH4 - 20センサーの測定範囲は0～20 ppmであると推測されます。
- 検出原理：盛凱安科技が製造するシランガスは、輸入された電気化学センサーとマイクロコントローラー技術を採用しています。4SiH4 - 20センサーも電気化学原理を採用していると推測されます。電気化学センサーは通常、三電極システム（作用電極、対電極、参照電極）と液体電解質で構成され、一定電位で動作します。ガスは細孔を介してセンサーの作用電極に拡散し、電極表面で電気化学的還元反応が起こります。電流信号の大きさは、測定対象ガスの濃度に比例します。
- 出力信号：盛凱安科技のSiH4/NE - 301ガスを参考にすると、2線式4～20mA電流信号出力（3線式オプション）とRS - 485デジタル信号出力がある可能性があります。また、2つのリレー出力（オプション）を装備することもでき、受動接点容量は220VAC 3A、24VDC 3Aです。
- 技術パラメータ：盛凱安科技のSiH4/NE - 301ガスの検出精度は2%（F.S）、再現性は1%、ゼロドリフトは1%（F.S/年）、応答時間は20秒未満、回復時間は20秒未満、センサー寿命は24ヶ月、動作温度範囲は-20℃～+70℃、相対湿度は95%RH（結露しないこと）です。4SiH4 - 20センサーも同様の技術パラメータを持つ可能性があります。
- アプリケーションシナリオ：シランガスセンサーは、主に半導体製造、工業生産（太陽電池製造、コーティング生産など）、環境モニタリング、研究室研究などの分野で使用され、シランガスの漏れや濃度を検出し、生産安全と環境保護を確保します。
| 測定対象ガス |
シラン (SiH4) |
| 検出原理 |
電気化学 |
| 測定範囲 |
0 - 20 ppm |
| 分解能 |
0.1 ppm, 0.2 ppm, 0.3 ppm |
| 応答時間 |
＜30秒 |
| サンプリング精度 |
±2%FS |
| 予熱時間 |
30秒 |
| 再現性 |
±1%FS |
| ゼロドリフト |
≦1%FS/年 |
| 動作温度 |
-20℃～70℃ |
| 動作湿度 |
10% - 95%RH（結露しないこと） |
| 保管温度 |
-40℃～70℃ |
| 動作圧力 |
86 kPa～106 kPa |
| ハウジング材質 |
アルミニウム合金 |
| 出力インターフェース |
7PIN |
| 出力信号 |
0.4 - 2.0 VDC（通常）、4 - 20 mA、TTLオプション |
| デジタル信号形式 |
データビット：8; ストップビット：2; パリティビット：なし |
| ボーレート |
9600 |
| 動作電圧 |
DC5V±1% |
| 動作電流 |
≦50 mA（触媒≦100 mA） |
| 設置方法 |
7ピンプラグイン |
