
Add to Cart
FS5001-50-EV-A MEMS マスフローセンサー 高流量 高速応答
このシリーズのマスフローセンサーは、当社独自のMEMSセンシング技術を利用して、ガス質量流量測定用にマニホールド設置構成で設計されています。計測と自動化は、2つのターゲットアプリケーションです。
特徴
マニホールド設置用に設計
高速応答時間、10 msecにカスタマイズ可能
全ダイナミックレンジでの層流
アナログおよびデジタルインターフェース
100:1以上の大きなターンダウン比
高/低流量アプリケーション
アプリケーション
ラボフロー測定
GC質量分析計
リーク検出
計測
乾燥ガスによるプロセスモニター
自動化
最大圧力定格 | 0.5mPa |
最大圧力損失 | 900 (標準)Pa |
温度 | - 10 ~ 55℃ |