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製品説明:
FS5001-50-EV-A FS5001-1000-EV-E ガス流量計フローセンサーは、乾性ガスの体積測定に使用され、測定範囲を選択できます。
特徴:
FS5001小型流量ガス質量流量センサーは、さまざまな小型流量ガスの測定およびプロセス制御用に特別に設計されています。このシリーズのセンサーは、同社の独自の微小電気機械システム（MEMS）フローセンシングチップを使用して製造されており、あらゆる種類のクリーンで乾燥したガスに適しています。* パッケージング技術により、同じパイプ径でさまざまな流量範囲を測定でき、低コストで、設置が簡単で、温度と圧力の補償が不要で、従来の流量センサーの体積または差圧を置き換えることができ、さまざまな信号出力が装備されており、通信インターフェースを介してセンサーの柔軟な構成とパラメータクエリを実現できます。
製品の特徴:
センサーは高感度で、最小の起動流量を持っています。
センサーチップは、温度と圧力の補償なしに熱質量流量測定を採用しており、センサーの高精度測定を保証します。
マルチセンサー統合は単一チップで実現されており、そのレンジ比は100：1以上になります。
壁掛け設置、直管部不要、設置と使用が簡単です。
出力モードは柔軟で、通信インターフェース（RS232）を介してデータを積極的にアップロードしたり、ホストコンピュータ（RS232 / I2C）で出力データを照会したり、アナログインターフェースを介して線形アナログ電圧を出力したりできます。
高いゼロ安定性
全範囲で高い安定性、高精度、優れた再現性
低消費電力、低圧損
高速応答速度
仕様:
| タイプ | 質量空気流量センサー |
| 使用対象 | 乾性ガス |
| 範囲 | 200 500 1000 SCCM |
| 精度 | 0.5% |
