MF5619-N-800-B-D-A エアフローセンサー
- センシング技術:
- MEMS Thermal-D® テクノロジー: 温度/圧力補正なしで直接質量流量を測定し、低流量アプリケーションでの高精度を保証します。
- 設計上の利点:
- ナノコーティングされたセンサー表面: 油、水、およびファウリングに強く、長期的な信頼性を向上させます。
- 広いダイナミックレンジ: さまざまな流量で正確な測定を行うための100:1のターンダウン比。
- 柔軟な構成:
- ユーザー設定可能なパラメータ: フロントパネルボタンまたはデジタルインターフェースを介した流量単位（slpm/sccm）、応答時間、および出力スケーリング。
- マルチガス対応: CO₂（Bサフィックス）の工場校正済み。カスタムガス校正（例：N₂、O₂）をサポート18。
- 産業用: プロセス制御、ガス混合、および半導体製造。
- 医療用: 高流量麻酔器および酸素供給システム。
- 分析機器: 環境モニタリングおよびガスクロマトグラフ。
| 寸法 |
値（概算） |
| 本体長 |
162 mm（制御ユニット）+ 205 mm（表示ユニット）18 |
| 本体直径 |
38 mm |
| 重量 |
2.05 kg（1/2インチNPTコネクタ付き）18 |
| 取り付け方向 |
任意（推奨：最適な安定性のために水平） |
- MF5619: シリーズコード（19mm内径、高流量バリアント）。
- N: 接続タイプ（1/2インチNPTねじポート）18。
- 800: フルスケール流量（800 slpm）。
- B: 校正ガス（CO₂）18。
- D: 出力タイプ（パルス）18。
- A: アナログ出力（4–20mA）18。
-
- オプション構成:
- ガスタイプ: サフィックスで指定（例：「B」はCO₂、「C」はN₂O）18。
- コネクタ: ねじ込み（N）または代替のクイックコネクトオプションから選択します。
- 出力プロトコル: RS485、RS232、またはアナログのみ（例：「AB」=アナログ+ RS485）18。
| パラメータ |
詳細 |
| 流量範囲 |
0–800 slpm（フルスケール流量はモデルの「800」で示されます） |
| 精度 |
±1.5% of Reading + 0.2% of Full Scale18 |
| 再現性 |
±0.25% FS |
| 応答時間 |
10 ms（デフォルト、ソフトウェアで最大1000 msまで調整可能） |
| 圧力定格 |
2 MPa（290 psi）最大動作圧力18 |
| 圧力損失 |
≤200 Pa at full flow (19mm内径の推定値)18 |
| 動作温度 |
-10°C to +55°C (-14°F to +131°F) |
| 保管温度 |
-20°C to +65°C (-4°F to +149°F) |
| 出力信号 |
- アナログ: 4–20mA DC（リニア、「A」サフィックス）
- デジタル: RS485（Modbus RTU、「B」サフィックス）
- パルス: パルス出力（「D」サフィックスから推測）18 |
| 電源 |
12–24VDC（標準：24VDC、≤50mA） |
| 接続タイプ |
- N: 1/2インチNPTねじポート（標準）18 |
| 校正ガス |
B: 二酸化炭素（CO₂、20°C、101.325 kPa）18 |
| 材料 |
- 接液部: 304ステンレス鋼（耐食性）
- ハウジング: アルマイト処理されたアルミニウム |
| 電気インターフェース |
5ピンMini-DINコネクタ（標準） |
| 認証 |
CE、RoHS準拠; オプションの防爆認証（ご要望に応じて） |
