FS5001L-2000-EV-A エアフローセンサー
- ブランド/メーカー: Siargo (FSシリーズフローセンサーの代表)
- 型番: FS5001L-2000-EV-A
- 製品タイプ: ガス用マスフローセンサー
- 測定媒体: 空気、窒素、またはその他の非腐食性ガス (特定のガスに合わせてカスタマイズ可能)
| パラメータ |
詳細 |
| 流量範囲 |
0～2000 sccm (標準); 0～2000 ml/min (質量流量) |
| 精度 |
: ±1.5% of Reading + 0.2% of Full Scale (FS) |
| 再現性 |
: ±0.5% FS |
| 応答時間 |
: ≤100 ms (T90) |
| 圧力定格 |
: 最大動作圧力1 MPa (145 psi) |
| 動作温度 |
: -10°C～+55°C (-14°F～+131°F) |
| 保管温度 |
: -20°C～+70°C (-4°F～+158°F) |
| 出力信号 |
: 0.5～5V DC (アナログ) または RS485 (デジタル、Modbus RTUプロトコル) |
| 電源 |
: 12～24VDC (標準: 24VDC、≤50mA) |
| 接続タイプ |
: 1/8インチ NPTねじポートまたは6mm ODチューブ (「EV-A」サフィックスの定義による) |
| 校正ガス |
: 空気 (標準); N₂、O₂など、ご要望に応じて利用可能 |
| 材質 |
: 接液部: 316ステンレス鋼、PTFEシール; ハウジング: アルマイト処理アルミニウム |
| 電気インターフェース |
: 6ピンMini-DINコネクタ (標準) |
| 認証 |
: CE、RoHS準拠; オプションの防爆認証 (ご要望に応じて) |
- センシング技術:
- 温度/圧力補償なしで高精度な質量流量測定を実現するMEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 熱分散技術 (Thermal-D®)。
- 設計上の利点:
- 耐油性/耐水性および防汚性のためのセンサー表面へのナノコーティング。
- 変動する環境下での安定した性能のための内蔵温度および圧力補償。
- 流量校正:
- 空気用に工場校正済み; 多ガス自動認識をサポート (明確な熱拡散率を持つガス用)。
- 産業: ガス混合システム、半導体製造、化学プロセス制御。
- 分析機器: クロマトグラフィー、ガス分析装置、環境モニタリング機器。
- 医療および研究室: 酸素流量計、人工呼吸器、研究用ガス供給システム。
| 寸法 |
値 (概算) |
| 本体の長さ |
120 mm |
| 本体の直径/幅 |
38 mm |
| 重量 |
350 g |
| 取り付け方向 |
任意 (推奨: 最適な精度を得るには垂直) |
- 型番の内訳:
- FS5001L: シリーズコード (低流量マスフローセンサー)。
- 2000: 流量範囲 (0～2000 sccm)。
- EV-A: カスタムサフィックス (例: EV = 強化バージョン; A = コネクタタイプ/オプション)。
