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製品説明:
FS5001L-2000-EV-A 小流量ガス質量流量センサー
特徴:
FS5001小流量ガス質量流量センサーは,様々な小流量ガスの測定とプロセス制御のために特別に設計されています.このシリーズセンサーは,会社の独自のマイクロ電気機械システム (MEMS) 流量センサーチップを使用して製造されています.* パッケージ技術により,同じパイプ直径の下での異なる流量範囲を測定し,低コストで安装が可能です.温度と圧力の補償は必要ない, 伝統的な流量センサーの体積圧や差圧を代替し,様々な信号出力装置を備えています通信インターフェイスを通してセンサーとパラメータのリクエストの柔軟な設定を達成することができます.
製品の特徴:
センサーは,高い感度と最小のスタート流量を持っています
センサーチップは,温度と圧力補償なしで熱質量流量測定を採用し,センサーの高精度測定を保証
マルチセンサ統合は 1 つのチップで実現され,その範囲比は100:1またはそれ以上に達します
壁掛けの設置,直線管の部分がない,設置と使用が簡単
出力モードは柔軟で,通信インターフェイス (RS232) を介してデータをアクティブにアップロードしたり,ホストコンピュータ (RS232 / I2C) によって出力データをクエリしたりできます.線形アナログ電圧をアナログインターフェースから出力します
高いゼロ安定性
全範囲の高安定性,高精度,優れた繰り返し性
低電力消費,低圧損失
迅速な応答速度
仕様:
| タイプ | 質量空気の流れセンサー |
| 用いる | 乾燥ガス |
| 範囲 | 200 500 1000 SCCM |
| 精度 | 00.5% |
