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±1000sccmマイクロ橋ガスのマス フローのメートル センサーAWM42300V
±1000sccmマイクロ橋ガスのマス フロー センサーAWM42300V
特徴:
窒化珪素の薄膜で包まれるMicrobridgeのガスのマス フロー センサーは熱抵抗を利用する。これらの抵抗器は中断され、シリコンの薄片のエッチング キャビティ上の2つの橋を形作る。破片は最もよい指定の気流チャネルに反復可能な流れの応答を提供するために置かれる。橋を、ヒーターは感じ、抵抗器を感じる流れの下のキャビティのエッチングによって有効な熱分離を達成する。マイクロ橋ガスのマス フロー センサーの小型および熱分離機能気流への急速な応答そして高い感受性を達成するため。
Wheatstone対橋制御気流の測定- 1つはクローズド・ループ ヒーター制御を、他含んでいる二重感知要素を提供する。ヒーター回路は質量流量に比例した出力の提供によって周囲温度の変化による出力変化を減らす。この回路は周囲温度（破片の熱抵抗によって測定される160 °C）の上の一定した温度の相違でヒーターの温度を維持する。装置の出力は供給電圧に比例して、またホイートストン・ブリッジ回路の差動電圧に対応する。
指定:
| インターフェイスの種類 | 多岐管 |
| パワー消費量 | 60 MW |
| 中型の両立性 | 乾燥したガスだけ |
| 補償の温度較差 | -25°Cへの85°C [- 13°Fへの185°F] |
