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ナノポーラス金属酸化物膜センサー
PhyMetrixは、水分子に対する毛管作用を持つナノポアジオメトリを開発しました。 この独特の構造は、これらの孔の内側と外側との間に平衡を生じ、その結果、孔の内側の水分子の濃度は孔の外側の水分子の濃度に指数関数的に比例する。 したがって、ガス中の水分子含有量のわずかな変化による静電容量の変化は、再現性のある測定を行うのに十分なほど重要です。 次のグラフは、10分圧の水蒸気圧（mB）あたり約17（nF）の水蒸気分圧に対するセンサーの応答を示しています。
1）LCDディスプレイ2）ハンドル3）スロットル4）流量計5）流量調整弁6）制御盤
技術仕様
| パフォーマンス | 操作条件 | ||
| 測定範囲 | -110℃ - + 20℃DP -60℃ - + 20℃DP | 動作湿度 | 95％未満（結露しないこと） |
| 解決 | 0.1℃DP | 動作温度 | -20℃〜+ 60℃ |
| 反応時間 | 5分で95％のステップ変化 | 入口ガス圧 | 150psig |
| 再現性 | +/- 0.5℃DP | 流量 | > 1 LPM |
| 電気仕様 | 機械仕様 | ||
| 表示 | 2.5インチLCD、320 * 240画面解像度 | 保護 | 本質的に安全、クラス1、部門1グループB、C、D |
| 電池 | リチウムイオン充電式、フル充電で8時間 | 寸法 | 高さ：5.51” 幅：5.04” 深さ：8.42” |
| 入力充電電圧 | 115 / 230VAC | 重量 | 2.6KG |