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任意BSE、EDS、EBSD、WDSおよびCLとの拡大1X-300000Xの走査型電子顕微鏡3nmの決断
M22006はnanoscaleの微細構造の観察のための費用効果が大きいタングステンのフィラメントの走査型電子顕微鏡である。それに300,000xまでおよび決断の拡大が3nmよりよくあり、また370mmの直径のサンプル部屋が装備されている。それは超高度の決断および優秀なイメージの質の高性能走査型電子顕微鏡である。拡大は絶えず調節可能であり、高い明るさの明確なイメージは異なった視野で得ることができる。被写界深度は大きく、イメージはステレオで豊富である。大きいサンプル部屋および低電圧モードと装備されていて応用範囲を非常に拡大する。
スペシャル:
- 拡大最高300000X。
- 信号検出:二次電子の探知器（SED）。
- 加速の電圧:1~30KVの高い解像度。
- BSE/EDS/EBSD/WDS/CLは構成分析のために任意、である。
- 高真空システム。
- 三軸の自動（標準）。
| 項目 | 指定 | M22006 |
| 決断 | 3nm@30kV （SE） | ● |
| 拡大 | 1X~300000X | ● |
| 加速の電圧 | 1~30kV | ● |
| 信号検出 | 二次電子の探知器（SED） | ● |
| 電子銃 | 前一直線に並べられた中型のフォーク タイプのタングステンのフィラメント | ● |
| 自動機能 | 自動明るさの対照、自動焦点 | ● |
| StageSystem/動き | 制御方式:自動弁 | ● |
| Turbomolecularポンプ:240 L/S | ● | |
| 機械ポンプ:12のmの³ /h （50のHz） | ● | |
| カメラ:サンプル部屋で監察する光学運行 | ● | |
| サンプル段階構成、三軸の自動（標準） | ● | |
| X:0~100mm | ● | |
| Y:0~100mm | ● | |
| Z:0~60mm | ● | |
| 最高のサンプル直径:370mm | ● | |
| 最高のサンプル高さ:68mm | ● | |
| 自動5軸線（任意） | ○ | |
| X:0~115mm | ○ | |
| Y:0~115mm | ○ | |
| Z:0~65mm | ○ | |
| R:360° | ○ | |
| T:-10°~75° | ○ | |
| 最高のサンプル直径:370mm | ○ | |
| 最高のサンプル高さ:73mm | ○ | |
| 真空システム | 高真空の下のよくより9 x 10-4 Pa | ● |
| 任意探知器 | BSEEDSEBSDWDSCL | ○ |
| イメージ投射 システム | イメージ ピクセル≤ 6144 x 4096 | ● |
| イメージのフォーマット:TIFFのJPG、BMP、PNG | ● | |
| ソフトウェア | 言語:中国語/英語 | ● |
| オペレーティング システム:Windows | ● | |
| 運行:光学運行は、速い運行を身振りで示す | ● | |
| 特殊関数:動的乱視 | ● | |
| 設置条件 | スペース:L≥ 3000のmmのWの≥ 4000のmmのHの≥ 2300のmm | ● |
| ドアのサイズ:Wの≥ 900のmmのHの≥ 2000のmm | ● | |
| 温度:20 ℃への25 ℃ | ● | |
| 湿気:≤ 50% | ● | |
| 騒音:≤ 45dB | ● | |
| 電源:AC 220 V （± 10%）、50のHz、2 KVA | ● | |
| グラウンド ワイヤー:より少しにより4 Ω | ● | |
| AC磁界:100以下nT | ● |
注:●標準、○を意味する任意を意味する
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適用