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拡大の任意EDSの最高60,000X走査型電子顕微鏡15nmの決断
基本的なデスクトップSEMとして、M22001シリーズはほとんどのユーザーの基本的な実験必要性を満たすことができる。それはSE （二次電子）の探知器およびBSE （backscattered電子）の探知器が装備されている。負荷プラットホームは3本の斧（X、YのR）によって形成することができる。手動プラットホームはまたにT）自動プラットホーム5軸線（X、Y、R、Z改善することができる。EDSのスペクトル検光子はすべての一連のプロダクトで形成することができる。プロダクトは次の構成を含んでいる:
スペシャル:
- 拡大最高60,000X。
- 信号検出:SE Detector+BSEの探知器。
- 加速の電圧:5kVへの30KVの高い解像度。
- EDSは構成分析のために任意、である。
- 高真空システム。
- 傾きの段階構成（（任意） 0~45°）。
| 項目 | 指定 | M22001 | |
| 決断 | 15nm （30kV、SEのイメージ） | ● | |
| 20nm （30kV、BSEのイメージ） | ● | ||
| 拡大 | 30x~60,000x | ● | |
| 加速の電圧 | 5kVへの30kV （5kV/10kV/15kV/20kV/30kV-5ステップ） | ● | |
|
信号検出
|
（SEI） -二次電子のイメージ | ● | |
| （BSEI） - Backscattered電子イメージ | ○ | ||
| *多探知器（SEI+BSEI） | ○ | ||
| 観察モード | 標準的なモード | ● | |
| 充満減少モード | ● | ||
| 電子銃 | フィラメントのタイプ、前に集中させたタングステンのフィラメントのカートリッジ | ● | |
| バイアス電圧システム、自動モード | ● | ||
| 電子銃の直線、手動モード | ● | ||
| レンズ系 | 焦点レンズ、2段階ダイヤリングの電磁石の集光レンズ | ● | |
| 対物レンズ、1段階の電磁石の対物レンズ | ● | ||
| 探知器のタイプ、SEの探知器BSEの探知器 | ● | ||
| 段階システム |
自動か手動 段階の横断、3つの軸線システム、XのＹ軸:35mm/R軸線:360° |
● | |
| イメージ転位 | イメージ転位XのYのイメージ転位（±150um） | ● | |
| 最高のサンプルの大きさ | 直径の70mm、高さの30mm | ● | |
| イメージのスキャン システム | 速いスキャン:320x240 （スキャン時間:0.1秒。） | ● | |
| 遅いスキャン:640x480 （スキャン時間:3秒。） | ● | ||
| 写真モード1:1280x960 | ● | ||
| 写真モード2:2560x1920 | ● | ||
| 写真モード3:5120x3840 | ● | ||
| イメージのフォーマット | BMP、JPEG、PNG、TIFF | ● | |
| データ表示 | 拡大、探知器のタイプ、加速の電圧は、モード、ロゴ（テキスト）、掃除機をかける日時は、マーカー、スケール棒をショートメッセージを送る | ● | |
| 真空システム |
フル オートの多モード、高真空 回転式Pump/100Liters/min ターボ分子ポンプ70Liters/sec ポンプ ダウンタイム:3分以下 |
● | |
| 制御装置システム |
マウス、キーボード PC |
● | |
| ソフトウェア機能 |
開いたイメージ ファイルは機能を編集したり、救う 長さ、区域、角度の測定 変数初期設定、mageの捕獲のモード変換）、アーカイブ、設定（EDS） |
● | |
| 容積 | 主要な単位460 （W）×600 （D）× 950の（H） mm ...... 1set 外的な真空ポンプ400 （W）×160 （D）×340 （H） mm… 1set |
● | |
| 重量 | 99kg | ● | |
| 装置の環境 |
温度:15℃~30℃ 動力源:単一フェーズ200~240V AC、1KW、50/60Hz |
● | |
|
付属品のパッケージ: |
|||
| 前に集中させたタングステンのフィラメント | 5 PC/箱 | ● | |
|
サンプル段階
|
15mm dia. （10 PC） | ● | |
| 25mm dia. （10 PC） | ● | ||
| 15mmの45°傾き（5 PC） | ● | ||
| 15mm 90°は傾く（5pcs） | ● | ||
| 高さの標準的なマスター | 1ea | ● | |
| アレン・レンチ | 1set | ● | |
| SEMソフトウェアCD | 1ea | ● | |
| カーボン伝導性テープ | 1roll | ● | |
| はさみ | 1ea | ● | |
| ピンセット | 1ea | ● | |
| 用具箱 | 1ea | ● | |
注:●標準、○を意味する任意を意味する
サンプル テストの結果
私達はサンプルとして実験室で放棄された不完全なねじを使用して実地試験を行なった。映像は次の通りある:
ねじ、×47、30のkV、SEの高真空
×100、10kV、SEの高真空
×100、10kV、SEの高真空
×500、10kV、SEの高真空
×500、10kV、SEの高真空
×1000、10kV、SEの高真空
他の映像:
陶磁器×5000 電池物質的な×10K
植物プランクトン×8000 真珠の粉×1000