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新型層流FFUのクリーン ルームFFUファンのフィルター ユニット
クリーニング システムの柔軟性は高い柔軟性および高い適用範囲率のためにICの工場のために非常に重要である。研修会の清潔がプロセス変更として地方調節を必要とすれば、ローカル エリアの清潔はFFUの空気容積を変えるか、または盲目の版を取り替えることによって変えることができる。密にカバーされたとき、適用範囲率は85.5%に達することができる。
FFUの上部の天井は否定的な圧力シーリング役割を担うことができる否定的な圧力である。天井の空気圧は否定的な圧力であり、清潔の空気圧は天井スペースの圧力より大きい。FFUとブラケットのシール間にギャップがあれば、否定的な圧力はHEPAフィルターを通らない空気がクリーン ルームの清潔の保障を促す部屋に入ることを防ぐ。
空冷方式の抵抗は小さい、空気出口の風速は低く、FFUの風上区域は大きく、気流の抵抗は50Paについてある;帰りの送風管の部門別区域はまた大きく、帰りの送風管の抵抗は15Paの内にある;格子床およびグリルの抵抗は小さい。帰りの空気（を含む格子床およびグリルの送風管）、FFUの抵抗および最終フィルタの抵抗の総抵抗は250Paよりより少なくある。FFUの出口の風速は一般に0.38~0.45m/s.である。
FFUが採用された後単位の空気容積ごとの低負荷の消費は、そこにブスター ファンおよび特別な機械部屋を加える必要性ではないし空輸補給のパイプラインの抵抗は避ける。DC/EC （電子整流器）モーターがFFUのために採用されるとき、モーターの効率は75%~80%に達し各セットはフィルター電圧低下に従ってエネルギー消費を救うために速度正規の調節を行なうことができる。従って、単位の空気容積ごとのエネルギー消費は一般に大きい遠心ファンの中央集権型より低い。
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FAQ 1. 私達はだれであるか。 |
