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ターンブラン回転性スプッティング標的
タングスタンターゲットは主に航空宇宙,稀土の溶融,電気光源,化学機器,医療機器,金属機械,溶融機器,石油などに使用されています.
パラメーター
オーダーデメリット (OD) |
ID (mm) |
長さ (mm) |
オーダーメイド |
140〜300 |
120〜280 |
100~3300 |
モデル番号 |
W1 |
|||
形状 |
オーダーメイド |
|||
化学組成 |
99.95%W |
特徴
1密度が高い
2耐磨性が高い
3熱伝導性が高く,熱膨張係数が低い
4. 振動抑制能力が高く,ユングモジュールは高い
5.高酸化耐性および耐腐蝕性
仕様
原子番号 |
74 |
CAS番号 |
7440-33-7 |
原子質量 |
183.84 [g/mol] |
溶融点 |
3420 °C |
沸点 |
5555 °C |
密度 20 °C |
19.25 [g/cm3] |
結晶構造 |
身体を中心とした立方体 |
20 °C の線形熱膨張係数 |
4.410-6[m/mK] |
20°Cでの熱伝導性 |
[W/mK] |
20 °C の特異熱 |
0.13 [J/gK] |
電気伝導性 20 °C |
18.2106[S/m] |
20°Cの特異電圧抵抗 |
0.055 [(mm2) /m] |
応用
半導体
化学蒸気堆積 (CVD)
物理蒸気堆積 (PVD) ディスプレイ