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最高1200C。ガス配達及び真空ポンプが付いている実験室PECVDの環状炉
理性的なPECVDの紹介:
PECVDシステムは従来のCVDの反作用の温度を減らすように設計されている。それはガスの反応をイオン化するために従来のCVDの前のRFの誘導装置を取付けた従って血しょうは発生する。血しょうの高い活動は反作用である血しょうの高い活動が加速された原因である。従って、このシステムはPECVDと呼ばれる。
このモデルは新製品である、ほとんどの管PECVDシステムの利点を総合し、PECVDシステムの前部の地帯を予備加熱することを加えた。テストは沈殿速度がより速いことを、フィルムの質よりよい示した、穴はより少しで、割れない。AISOのフル オートのインテリジェント制御システムは私達の会社によって独自に設計されている、作動することは便利であり、機能はより強力である。
広い適用範囲:メタル・フィルムの、陶磁器のフィルム、合成のフィルム、さまざまなフィルムの連続的な成長。機能を高めること容易血しょうクリーニングの腐食および他の機能を拡大できる
主な特長:
標準的なスペアー:
任意スペアー:
1200℃ PECVDの環状炉の標準規格:
| 1. 暖房装置 | ||
| Max.temperature | 1200℃ （1時間） | |
| 働く温度 | ≤1100℃ | |
| 部屋のサイズ | Φ100*1650mm （管のdiamaterはカスタマイズ可能である） | |
| 部屋材料 | 高い純度のアルミナのファイバー・ボード | |
| 熱電対 | Kのタイプ | |
| Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
| 温度調整 |
●暖房率、冷却率およびドウェル時間の精密な制御のための50のプログラム可能な区分。 ●過熱する及び壊れた熱電対の壊れた保護のPIDの自動調子機能で造られる。 ●PLCの中PCのコントローラーによる自動制御システム。 ●システムを滑らせる温度調整システムはプログラムによって（時間および間隔）制御できる。 |
|
| 熱する長さ | 440mm | |
| 一定した熱する長さ | 200mm | |
| 発熱体 | 抵抗ワイヤー | |
| 電源 | 単一フェーズ、220V、50Hz | |
| 評価される力 | 9kW | |
| 2. RF血しょう源 | ||
| RFの頻度 | 13.56 MHz±0.005% | |
| 出力電力 | 500W | |
| 最高力を反映しなさい | 500W | |
| RFの出力インターフェイス | 女性50 Ω、Nタイプ | |
| 力の安定性 | ±0.1% | |
| 調和成分 | ≤-50dbc | |
| 供給電圧/頻度 | 単一フェーズAC220V 50/60HZ | |
| 全効率 | >=70% | |
| 力率 | >=90% | |
| 冷却方法 | 強制風 | |
| 3. 3つの精密多くの流量計の制御システム | ||
| 外のり寸法 | 600x600x650mm | |
| コネクターのタイプ | 共同Swagelok SS | |
| 標準的な範囲（N2） | 0~100sccm、0~200sccm、またはカスタマイズ可能 | |
| 正確さ | ±1.5% | |
| 線形 | ±0.5~1.5% | |
| 反復性 | ±0.2% | |
| 応答時間 |
ガスの特性:1~4秒; |
|
| 圧力範囲 | 0.1~0.5 MPa | |
| Max.pressure | 3MPa | |
| インターフェイス | Φ6,1/4」 | |
| 表示 | 4ディジットの表示 | |
| 周囲温度 | 5~45高い純度のガス | |
| 圧力計 | - 0.1~0.15 MPaの0.01 MPa/単位 | |
| 弁を停止しなさい | Φ6 | |
| ポーランドSSの管 | Φ6 | |
| 低い真空システムは含んでいた | ||
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