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製品情報:
タントラムチューブターゲットは,タンタルム回転ターゲットとしても知られる管状タンタルムターゲットである.
名前 | タンタル回転標的 タンタルチューブ標的 |
純度 | ≥99.95% |
グレード | RO5200,RO5400,RO5252,RO5255,Ta1,Ta2 |
密度 | 16.68g/cm3 |
原子重量 | 180.94788 |
噴射方法 | DC |
熱伝導性 | 57 W/m.K |
熱膨張係数 | 6.3 x 10-6 /K |
サイズ | OD: 20~300mm 壁厚さ: ≥0.5mm |
ターゲットの適用:
タンタルチューブの標的は,半導体に使用できる,高純度タンタルム原材料で,化学蒸気堆積 (CVD) と物理蒸気堆積 (PVD) のディスプレイと光学アプリケーション詳細は以下の通りです
- 半導体用
化学蒸気沈没 (CVD) ディスプレイ
物理蒸気沈没 (PVD) ディスプレイ
- 光学的な応用
注記:私たちはカスタマイズされたサービスを提供します. あなたが望むターゲットを見つけることができない場合は,直接私達に連絡してください. 私たちはあなたの要求に応じてカスタマイズすることができます.