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顕微鏡Inspect500を点検するウエファー
使用法
金属顕微鏡を測定するシリーズを半導体のパッケージ、はんだのパッド、ループ高さ、FPDのパネル（LCM）で等広く利用されている、ウエファーのレベルCSPS点検しなさい。
顕微鏡を点検するウエファーの特徴及び利点
■安定性が高いおよび剛性率を保障する高精度の大理石の基盤、テーブルおよびコラム
■大理石のテーブルの設計は、精密V形十字柵と、長期使用がなしの高い機械精密を変形させたり、効果的に保証することを保障する
■良質の光学系および高解像CCDはシャープなイメージの端を保障する
■3リングおよび8地帯LEDリング表面の冷光の源および輪郭の光源は、ライトからの熱によって引き起こされる精密部品の変形を避ける
■trinocular管を傾ける任意Nikon +五重のnosepiece
■イメージの測定ソフトウェアの独立した研究開発、強力および作動すること容易
技術的なデータ
| モデル | INSPECT300 | INSPECT400 | INSPECT500 | ||||
| XのＹ軸旅行（mm） | 300*200 | 400*300 | 500*400 | ||||
| 段階のガラス サイズ（mm） | 357*257 | 457*357 | 557*457 | ||||
| Z軸旅行（mm） | 100 | ||||||
| X、YのZ軸の決断（μm） | 1 | ||||||
| 長さの単位 | 線形スケール | ||||||
| 測定の正確さ（μm） | 2.5+L/150 L=measuringの長さ（mm） | ||||||
| 操作モード（XのY） | マニュアル | ||||||
| 操作モード（Z） | CNC | ||||||
| イメージ システム | 高リゾリューションCCDのカメラ | ||||||
| 五重のnosepiece | 5X | 10X | 20X | 50X | |||
| 接眼レンズ | WF10X | ||||||
| 測定ソフトウェア | 第2測定ソフトウェア | ||||||
| 照明 | 送信される | Epi照明システム | |||||
| 輪郭 | LEDの平行輪郭ライト | ||||||
| 電源 | AC100~240V 50/60Hz | ||||||