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PVD真空塗装機械のための高純度チタンスプッターターゲット
わかった
高純度チタン・スプッターターゲットは
| 製品名 | PVDコーティングマシン用のチタンスプッティングターゲット |
| グレード |
チタン (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7,GR12) 合金標的:Ti-Al,Ti-Cr,Ti-Zrなど 他の材料:クロム,ジルコニウム,銅,タンプスタムなど |
| 原産地 | バオジ市,山西省,ヒナ |
| チタン含有量 | ≥99.5 (%) |
| 不純度含有量 | <0.04 (%) |
| 密度 | 4.51 または 4.50 g/cm3 |
| スタンダード | ASTMB348,ASTMB381 |
|
サイズ |
1丸い標的: Ø30~2000mm,厚さ3.0~300mm 2プレートターゲー 長さ200~500mm 幅100~230mm 厚さ3~40mm 3ターゲット:直径30~200mm 厚さ5~20mm 長さ500~2000mm 4パーソナライズされている |
| テクニック | 鋳造およびCNC加工 |
| 適用する | 半導体分離 フィルムコーティング材料 ストレージ電極コーティング スプッターコーティング 表面コーティング ガラスコーティング産業 |
チタン・スプートリング標的の基本要求事項:
一般的に,噴射対象が主な要件を満たしているか否かを測定する際には,以下の指標が考慮されます.
純度: 純度 は 噴射 フィルム の 性能 に 大きな 影響 を 及ぼし ます.例えば,チタン ターゲットを 例 に 挙げ て ください.純度 が 高ければ高いほど 耐腐蝕 性 が 向上 し ます.スプッターフィルムの電気的および光学的特性.
不浄物含有量:標的固体内の不浄物と,孔内の酸素と水蒸気は,沉着膜の主な汚染源である.異なる標的材料には,不純物含有量に関する要求が異なります.
密度: 標的の密度は,スプッティング速度に影響するだけでなく,フィルムの電気的および光学的な特性に影響します. したがって,標的固体の孔隙を減らすため,スプッターフィルムの性能を向上させるため標的に求められるのは,通常,高密度である.
粒の大きさと粒の分布:同じ標的では,細粒粒の標的のスプッター速度が粗粒粒の標的よりも速い.粒子の大きさの差が小さいほど (均等な分布)対象のスプッティング堆積膜の厚さが均一になるほど
詳細な画像:
パッケージ:各タイタンターゲットは カスタマイズされた真空プラスチック袋に詰められ 中には泡膜と真珠綿で満たされ 外は防腐用複合板ケースです国際輸送基準を遵守する貨物の安全を保証する
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