5.高精度の一定した温度システム:全体光学道の精密一定した温度の保護システムを採用するため。温度調整はエアコンを絶えず長い間始動させる必要性なしで顧客の実験室の実際の周囲温度に従ってリアルタイムに、置くことができる。温度調整の精密≤±0.1%の光学道の安定性を保障する精密一定した温度の保護システムはテストデータをより安定したようにし。

展覧会:

RFPowerの技術的な変数:

1	回路のタイプ:automatchの機能のソリッドステートRFの電源、
2	Frequercy:27.12MHz±0.05%
3	頻度Stablity:<0>
4	出力:800W-1200W
5	出力の安定性:<0>
6	脱出したRFの放射:器械からの30cm、電気fiekd:E<2v>

システム技術的な変数の見本抽出

出力働くコイルのimerの直径:25mm

Torpueの管:同心3 extemal直径:20mm

同軸噴霧器:外のdameter 6mm

二重バレルの粉砕の部屋:外の直径34mm

ガスのフロー制御

血しょうアルゴンの流量計:（100-1000） L/h （1.6-16L/min）

補助アルゴンFiowmeter:（10-100） L/h （0.16-1.66L/min）

補助キャリアのアルゴンの流量計:（10-100） L/h （0.16-1.66L/min）

Pressuneの維持の価値:（0-0.4MPa）

冷水:温度:20-25ºCのFlow>5L/min、油圧Pressure>0.1MPaの率

分光計

光学:Czernyターナーのタイプ

焦点距離:1000のmm

格子:レーザー光線写真格子、3600L/mmまたは2400L/mmをエッチングするイオンビーム

相互線形分散:0.26nm/mm

決断:≤0.007nm （3600ライン格子）;≤0.015nm （2400ライン格子）

波長範囲:;3600ライン格子:（190nm~500） nm;2400ライン格子:（190nm~800） nm

ステップ・モータの最低のペース:≤0.0006 nm

出口スリット:12μm

入口スリット:10μm

全面的な性能

スキャンの波長範囲

195nm~500nm （3600L/mmライン格子）;195nm~800nm （2400L/mmライン格子）

反復性

RSD （相対的な標準偏差） ≤1.5%

安定性

RSD （相対的な標準偏差） ≤2%

検出限界（µg/L）:

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