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スリップの部品を処理する抵抗力がある陶磁器の横の半導体ウエハーのボートの半導体
キー ワード:横の半導体ウエハーのボート
発明は処理する半導体ウエハーのための縦の棚に各腕に円形にされた先端および滑らかのがあるか関連していて厳しく水平に腕を気分にさせます（RA < 1="">m）の上面。
集積回路のような半導体デバイスの製造は普通反応ガスの前でシリコンの薄片を扱う熱を要求します。このプロセスの間、装置が頻繁に回路部品の要素をより少なく含んでいるので装置が注意深く管理されなければならないさらされる温度およびガス集中処理の環境の微細な変化に敏感であるより1 um。
横の半導体ウエハーのボート
垂直棚で処理されるウエファーが表面上の気温傾度のより少しを（横のボートで処理されるウエファーと比べて）経験するので、半導体の製造業者は縦の炉にますます回っています。しかし縦にfurnacingへ欠点があります。慣習的な縦の棚で気分にさせられるウエファーは外の端だけで支えられます。そのように、これらの歯で休むウエファーの区域はウエファーの残りより高い圧力を経験します。炉の温度が1000°Cについて超過するとき、これらの圧力は頻繁に重要になり、単結晶のウエファーの部分は結晶学の版に沿って互いをその圧力に応じて相関的動かします。「スリップ」と呼ばれるこの現象は効果的にスリップが起こったウエファーの区域にある半導体デバイスの価値を破壊します。
横の半導体ウエハーのボートの特徴:
| 単位 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | ZrO2 | GPSi3N4 | |
| 色 | - | 白い | 象牙 | 白い | 灰色 |
| 密度 | g/cmの³ | 3.70 | 3.90 | 6.04 | 3.31 |
| 吸水 | % | 0 | 0 | 0 | 0 |
| ヤングの係数 | Gpa | 280 | 350 | 205 | 295 |
| Vickersの硬度 | Gpa | 14 | 20 | 12 | 18-20 |
| Flexural強さ（R.T.で） | Mpa | 280 | 300 | 900 | 650 |
| 耐圧強度（R.T.で） | Mpa | 2000年 | 2500 | 2200 | 2200 |
| 熱伝導性（R.T.で） | を使って（m.K） | 18-25 | 30 | 2.2 | 25 |
| 熱衝撃の抵抗 | ΔT （°C） | 220 | 180-200 | 280-350 | 450-650 |
| 最高。働く温度（R.T.で） | °C | 1500 | 1700 | 800 | 1200 |
| 容積抵抗（R.T.で） | Ω.cm | >10^15 | >10^14 | >10^12 | >10^14 |
| 比誘電率（R.T.の1つのMHz） | - | 9.50 | 9.80 | 26 | 8.20 |
| 絶縁耐力 | kV/mm | 16 | 22 | - | 16 |
典型的な特徴の回転子:外径: < 30=""> 深さ0,051のmm （.0002"）の> 0,13のmm （.0052"）の長さ> 2,00のmm （.0780"）の固定子:外径: < 30=""> 0,22のmm X 0,25のmm （.008" x .010"）の表面の終わり、回転子または固定子のジルコニア:0,025ののm （1つの）またはN1アルミナ99,9%:0,05のm （2）またはN2のアルミナ96%または99,7%:0,2m （4から8）またはN3へのN4への0,1
横の半導体ウエハーのボートの利点
1. 押される地殻均衡。
2.耐火性。
3. 優秀なmechnical強さ。
4.高い腐食および耐久性。
5.高温抵抗。
6.よい絶縁材の性能の精密。
7.ジルコニアおよびアルミナの陶磁器材料。
それらは高い腐食および耐久性および強い耐衝撃性で、10金属のプランジャーより倍の長いワーキング・ライフを提供します。それらは密封された梱包材に長い生命を与えます。
プロダクト写真ショー
包み、出荷
PPで詰められて袋に入れるか、または皿を海綿で洗い、そして標準的な輸出カートンのパッキング、かOEMのパッキングに置いて下さい。
空気（DHL、TNT、UPS、Federal Express、EMS）、または海の交通機関によって出荷される。
会社情報
私達はだれですか。
Mingruiは産業陶磁器の部品の製造の年OEMの経験の専門の工場です。
私達は何をしますか。
私達は（OEM）増強された構造のジルコニアを作り出し、アルミナの陶磁器の棒、管、シャフト、版、袖、弁、プランジャー、軸受け、ノズルおよび陶磁器の腕、それらは器械に適当、医療機器、時計および電子プロダクト、製造所、エネルギーおよび力、機械および金属、オートカー・ジャパンおよび軍、宇宙飛行および他のある上限分野です。
証明書が付いている私達のプロダクトすべて、のような、セリウム、TUV、等。
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