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高い純度のタングステンおよびモリブデン アークの部屋イオンImplanationの部品
私達のプロダクト:
部屋（タングステン、モリブデンおよび合金）
フィラメント（タングステンおよびタングステンの合金）
アーク スリット（タングステン、モリブデンおよび合金）
ホールダー（タングステン、モリブデンおよび合金）
陰極（タングステン、モリブデンおよび合金）
予備品（タングステン、モリブデンおよび合金）
私達は良質をの精密機械で造ったイオン・インプランテーション、MOCVD、CVD、PVDおよびMBE用具を含む半導体の製造で、使用される前陣プロセス用機器のためのモリブデンおよびタングステンの部品を提供する。Elmetのモリブデンおよびタングステン材料の製造の経験は、専門知識および知識は私達が精密を提供することを可能にするためにあなたの厳しい指定に合うアセンブリおよび部品を機械で造った。
適用:
半導体のイオン・インプランテーションは物質的な表面の修正の新技術である。それは半導体材料の添加、金属の表面の修正、製陶術、ポリマーずっと等で広く利用されている。それは現代的な製造の大規模の集積回路の必要な技術である。
イオン・インプランテーションはイオン ビームに材料の原子または分子との一連の物理的な、化学相互作用がある材料に100keVのエネルギー順序のイオン ビームの注入である。事件イオンは次第にエネルギーを失い、材料で最終的にそしてこうして材料の表面の特性をもたらすために最大限に活用するか、または材料に新しく優秀な性能を与える材料の表面の構成、構造および特性の変更を、停止し。
物質的な特性:
イオン・インプランテーションで使用されるSanhuiのタングステンおよびモリブデンの部品に高い純度、よい機械特性が保障するべきある複雑な形のアークの部屋の部品の処理のために適していることを。
高い純度のタングステンおよびモリブデン アークの部屋は半導体の破片の収穫のための基本的な保証である。Sanhuiの高性能イオン源のヘッド タングステンおよびモリブデンの部品は機械維持の頻度を非常に減らし、顧客の製品容量を保障するために、顧客のための最もよい選択でであって下さい。
品質管理および高度の外国技術を結合することの基礎としてタングステン、モリブデン、タンタルおよびニオブのようなself-produced材料を使うと輸入された精密機械化装置の大ぞろいを使うと、Sanhuiは顧客の要求に従って高精度および良質プロダクトを設計し、作り出し、処理できる。
成功の場合:
Sanhuiは処理し難い材料を処理するための完全な装置が装備され、タングステン、モリブデン、タンタル、ニオブおよび合金のような処理し難い金属材料からなされる版、シート、棒、棒および複雑な部品を顧客に与えることができる。Sanhuiは大きビーム、媒体ビームおよび高エネルギーイオン源で使用されるタングステンおよびモリブデン プロダクトを提供できる;タングステン高エネルギーイオン源の部品、タングステンまたはモリブデンの大きビーム イオン・インプランテーションの部品およびモリブデンの媒体ビーム イオン源の部品提供することできる。プロダクトは台湾の一流の製造業者に、米国および他の国および地域供給された。
