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インテリジェントリアルタイム追跡測定器は、全く新しいインテリジェント追跡測定方法を採用しています。高度な2軸連動モーション制御アルゴリズムとゼロ遅延の精密モーション軸を使用し、測定対象物の表面輪郭のインテリジェントリアルタイム追跡とプロファイリングを行います。測定対象物の2次元輪郭点群をスキャンし、専用のソフトウェアアルゴリズムでデータを処理して測定機能を実現します。
高度なコンセプトと科学的な方法により、この装置は非常に高い精度を実現しています。また、測定安定性、測定速度、測定範囲においても、他のデバイスに比べて比類のない優位性を持っています!
技術パラメータ
ガイドウェイユニット |
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ガイドウェイ構造 |
ハイブリッド |
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測定範囲 |
X軸 |
≥185mm |
Z軸 |
≥185mm |
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真直度 |
X軸 |
≤0.5μm/100mm |
Z軸 |
≤0.6μm/100mm |
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ガイドウェイ残留ノイズ |
X軸 |
Ra≤0.025μm |
Z軸 |
Ra≤0.025μm |
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センサーユニット |
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分解能 |
X軸 |
0.02μm |
Z軸 |
0.02μm |
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Z軸測定システム |
二重フィードバック |
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輪郭測定精度 |
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距離測定 |
X軸 |
±(1.5 + L/100)μm |
Z軸 |
±(1.5 + H/100)μm |
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円弧測定 |
±(1.2 + R/15)μm |
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地形 測定精度 |
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円弧Pt |
≤0.8μm |
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直線Pt |
≤0.8μm/100mm |
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モーションコントロール |
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測定方向 - |
T |
双方向 |
L |
一方向 |
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自動接触 - |
T |
双方向自動接触 |
L |
一方向自動接触 |
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測定速度 |
0.2mm/s - 0.7mm/s |
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移動速度 |
5 - 10mm/s |
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X軸エンドポイント制御 |
セルフロック |