単一データ取得技術を採用した粗さプロファイリング用の統合機で、センサー交換の必要がなく、寸法、形状、うねり、粗さの包括的かつ精密な測定を可能にします。これにより、操作プロセスが簡素化され、測定効率が向上するだけでなく、測定結果の精度と一貫性も保証されます。
技術パラメータ
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統合センサー |
Z1軸測定範囲 |
20mm |
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Z1分解能 |
1.2nm |
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輪郭精度 |
Z1直線精度 |
≤±(0.5+|0.02H|)μm |
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円弧 |
±(1 + R/12)μm |
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円弧Pt |
≤0.3μm |
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角度 |
±1′ |
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真直度（カットオフ波長0.8mm） |
0.3um/100mm |
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粗さ精度 |
指示精度 |
≤±(6nm + 2.5%) |
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残留ノイズ |
≤0.006μm |
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繰り返し精度 |
1δ≤1nm |
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カットオフ波長 |
0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm |
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評価長さ |
λC×2、3、4、5、6、7 |
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駆動速度 |
X軸駆動方式 |
電動 |
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Y軸駆動方式 |
電動 |
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大理石寸法 |
500mm × 800mm |
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テーブル材質 |
天然大理石 |
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