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粗さプロファイル複合機は高精度測定器です.独立した二重センサー設計に基づいており,同時に荒さとプロファイル測定の要件を満たすことができます..
独立した二重センサーの革新的な設計に基づいて,正確な調整と最適化された構成により,各センサーは特定の分野における独自の優位性を完全に示することができます.センサーの互いを補完することを促進し,ユーザーに可能な限り最高の使用体験を提供すること.
センサーの切り替えは便利です.巧妙な機械構造設計により,コンタクトセンサーと粗度センサーは,より迅速かつ簡単に交換できます.
テクニカルパラメータ
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測定範囲 |
X軸 |
120~220mm |
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X軸の解像度 |
0.1 μm |
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Z軸 |
420mm,620mm (オプション) |
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プロフィールセンサー |
Z1軸の測定範囲 |
30~60mm (オプション) |
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Z1 決議 |
0.02 μm |
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プロファイルの正確性 |
Z1 線形精度 |
≤±±0.6 + 0.02Hm |
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円弧 |
±(1.5 + R/12) μm |
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角度 |
±1′ |
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ストレート |
0.5 μm/100 mm (切断波長0.8) |
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速度 を 測定 する |
2mm/s |
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荒さセンサー |
測定範囲 |
±420 μm |
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決議 |
65536:1 |
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粗さ 精度 |
指示の正確性 |
≤±(8 nm + 3.5%) |
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残留騒音 |
≤0.008 μm |
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繰り返し可能性 |
1δ≤1.5 nm |
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切断波長 |
0.0250 だった080 だった250 だった82 について58mm |
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評価の長さ |
λC×2,3,4,5,6,7 |
