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センサーが自動的に接触し、目的の位置にセンサーを正確に位置決めできます。
独自開発の高精度・広範囲センサーは、合理的な構造で耐久性があります。
回転軸システムは精密エアフローティングスピンドルを採用しています。最終工程は純粋な手作業による研磨です。厳格な研磨工程と優れた研磨技術により、スピンドルの回転精度が効果的に保証されます。
技術パラメータ
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回転ワークテーブル |
回転精度 |
(0.025 + 6H/10000) μm |
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回転速度 |
6 rpm |
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ワークテーブル有効径 |
240 mm |
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最大測定径 |
300 mm |
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最大振れ径 |
450 mm |
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テーブル積載量 |
30 kg、60 kg（オプション） |
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垂直軸 |
垂直移動 |
420 mm、620 mm（オプション） |
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移動モード |
電動 |
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水平アーム |
水平移動 |
165 mm |
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オーバーハング |
25 mm |
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水平移動モード |
電動 |
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検出器 |
取得デバイス |
円形格子 |
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円周サンプリングポイント数 |
8192 |
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センサータイプ |
誘導型センサー |
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センサー測定範囲 |
±300 μm |
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センサー分解能 |
最大0.001 μm |
