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10L スクウェア・チャンバー真空プラズマクリーニングマシン プラズマクリーナー 研究室機器
| 穴の材料 | ステンレス鋼の表面処理 |
| 電源 | AC220V |
| 稼動電流 | 3 全機械の稼働電流は1.2A (真空ポンプを除く) を超えない RF電源 |
| RF周波数 | 40KHZ (0.2KHz未満のオフセット) |
| 周波数オフセット | 0.2KHz未満 |
| 特徴的な正抵抗 | 50オーム,自動マッチング |
| バキューム度 | 1Pa〜30Pa |
| ガス経路数 | 二重ガス入力 |
| ガス流量 | 10〜160ml/min (調節可能) |
| プロセス制御 | PLC 人間機械インターフェース 自動と手動モード |
| 清掃時間 | 1~99999秒 調整可能 |
| パワーのサイズ | 10%~100%調整可能 |
| 内腔の大きさ | 220×260×200mm 10L |
| 外側の寸法 | 650×550×440mm |
| バキュームポンプ | 2XZ-4 (ポンプ速度4L/S) |
| 真空室の温度 | 30°C未満 |
| 冷却方法 | 強制冷却 |