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| 製品に関する詳細 | LR-DW30 | LR-DW60 | PL-DW80 |
| 穴の材料 | 316 ステンレス鋼の表面処理 | ||
| 穴の大きさ | 300×335×300mm | 350×430×400mm | 400×450×450mm |
| 腔容量 | 30L | 60L | 80L |
| サイズ | 700×650×1200mm | 750×700×1250mm | 800×750×1400mm |
| 電力周波数 | 13.56MHz (自動マッチング) | ||
| パワー | 0〜500W (連続調節可能) | 0-600W (連続調節可能) | 0-800W (連続調節可能) |
| 流量計 | 磁気フラップ 2方向電子流量計 | ||
| バキュームメーター | 高真空計の測定とリアルタイム表示 | ||
| 制御プロセス | 完全自動制御と手動 (PLC 人間機械インターフェース) | ||
| 清掃時間 | 0-999999 調節可能 | ||
| バキューム度 | 1〜30pa | ||
| 穴の温度 | <30°C | ||
| 電源電圧 | 380V | ||
| バキュームポンプ | BSV30 (ポンプ速度10L/S) | BSV40 (ポンプ速度13L/S) | BSV60 (ポンプ速度20L/S) |