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ZDF-91B2型複合真空計は2セットの低真空測定ユニットと1セットの高真空で構成されています
測定単位 1台の抵抗計（RG 2）で独立して測定（1.0×10E5Pa〜1.0×10E-1Pa）
電離真空計と組み合わせた抵抗計（RG1）の単位は、複合単位として、連続制御を達成することです。
測定（1×10E5〜1×10E-5Pa）
利点：
手動または自動モード。
2.便利で柔軟な制御
3.長い稼働時間、安定性、信頼性
4.強いジャム防止能力（研究開発および工業生産に推奨）
仕様：
| 複合真空計 | ZDF-91B2 |
| 測定ループ | 3（抵抗計2、電離真空計1） |
| ゲージの種類 | ZJ-52T抵抗計2セット ZJ-27電離真空計1セット |
| 測定範囲 | 1.0×10 5 Pa〜1.0×10 -1 Pa単位RG 2 1.0×10 5 Pa〜1.0×10 -5 Pa複合単位 |
| 管理範囲 | 2.5×10 3 Pa〜5.0×10 -1 Pa単位RG 2 2.5×10 3 Pa〜5.0×10 -5 Pa複合単位 |
| 制御ループ | 6 |
| 制御モード | オンまたはオフリレー制御、制御点負荷：AC220V / 3A DC28V / 10A（無誘導負荷）、ジョグまたは地域制御/電力損失メモリ付き |
| 正確さ | ±1％ |
| 電源 | AC 220V±10％50Hz |
| サンプリング時間 | 1秒 |
| 消費電力 | 80W |
| インタフェース | MODBUS（マルチデバイス対応） |
| 電離真空計の外部制御 | PLC |
| 表示 | 5桁のLEDディスプレイ 例：1.2E-1は1.2×10 -1 Paを意味します |
| 寸法（W×H×D） | 480×88×280 mm |
| 重量 | 7Kg |