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FJ-110 サンダードターボ分子ポンプユニットは高真空を得るための洗浄装置です。
このような装置は、真空の原理を採用した真空取得システムであり、機械式ポンプと分子ポンプで構成されています。 それはクイックスタート、高真空、少ない油汚染、容易な操作などにより特徴付けられ、そして表面分析、加速器技術、プラズマ技術、電気真空装置製造および他の真空領域の分野において広く使用されている。 装置は具体的には非標準フレーム、機械式ポンプおよびパイプライン、電気制御システム、水で構成されています 冷却保護制御など
主なパラメータ：
到達真空度（無負荷）：≤9×10-5Pa
真空システムの漏出率：≤5×10-9Pa・M3 / S
電源電圧：220V±10 / 50Hz
冷却方法：空冷（周囲温度≦25℃）
機器利用のための周囲温度：5〜40℃
機器利用のための周囲湿度：≤80％
構成：
| 名 | 数 |
| F-100/110分子ポンプと電源（CF） | 1 |
| RVP-4バッキングポンプ | 1 |
| 制御電源 | 1 |
| フレーム | 1 |
| CF100 / CF35 / CF35トランジションチャンバー | 1 |
| CD-35F手動遮断バルブ | 1 |
| ZDF-11A2コンビネーション真空計 | 1 |
| その他の付属品 |
仕様：
| 単位 | FJ-110 | |
| フランジ（イン） | DN100CF | |
| DN100 ISO-K | ||
| フランジ（アウト） | ISO-KF | DN25 |
| ポンピングスピード | l / s | N 2 ：110 |
| 彼：100 | ||
| H 2：50 | ||
| Ar：100 | ||
| 圧縮率 | N 2：10 8 | |
| 彼：10 2 | ||
| H 2：10 2 | ||
| Ar：10 8 | ||
| 到達圧力 | Pa | CF：6×10 -7 |
| ISO-K：6×10 -6 | ||
| 推奨される前真空圧 | Pa | 100 |
| 前真空ポンプ | RVD-4（デフォルト） | |
| 冷却タイプ、標準 | 空気 | |
| 冷却水消費 | L /分 | > 1 |
| 冷却水温 | ℃ | ≦25 |
| 入力電圧/周波数 | V / Hz | 220±22/50 |
| 環境温度（℃） | ||
| 空冷 | 5℃〜32℃ | |
| 取り付け位置 | 垂直 | |
| コントローラーモデル | FD-110B | |
| L * W * H | mm | 500×510×840 |
| 重量 | kg | 52 |