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ターボポンプステーションはクリーン高（超高）取得装置の一部であり、それは真空の知識と原理によると、主に分子ポンプと機械式ポンプで構成されている真空取得システムです。 この仕様の製品には、対応するポンプ速度62L / sのターボポンプステーションFJ-80が含まれます。 バッキングオイルポンプの排気速度は0.5L / s、バッキングドライポンプの排気速度は0.2Lです。 これらの製品は表面分析、加速器技術、プラズマ技術、研究所、電気真空装置製造および他の真空領域の分野に広く応用されています。
構成：
| フレーム | ポータブルユニット |
| 分子ポンプ | FF-63/80 |
| 分子ポンプ制御 モジュール | TC-100 |
| バッキングポンプ | GHD-031B（オイルポンプ） KNF 813.3 ANF（ドライポンプ） |
| 真空計 | WPC400（外付け、オプション） |
| 電磁遮断弁 | AirTAC |
| トランジションチャンバー | DN63 / CF35 / KF40 （カスタマイズ可能） |
| その他の付属品 | コルゲートパイプ、フープ、ボルト、ブロックバルブ、無酸素銅製シールリングなど |
仕様：
| モデル | 単位 | FJ-80 |
| フランジ（イン） | DN63 ISO-K | |
| DN63 CF | ||
| フランジ（アウト） | ISO-KF | DN16 |
| ポンピングスピード | l / s | N 2：62 |
| 彼：55 | ||
| H 2：34 | ||
| Ar：65 | ||
| 圧縮率 | N 2：10 9 | |
| 彼：10 5 | ||
| H 2：10 4 | ||
| Ar：10 9 | ||
| 到達圧力 | Pa | 3×10 -5 （ISO-K）、5×10 -6 （CF） |
| 推奨前真空圧 | Pa | ＜50 |
| 前真空ポンプ | GHD-031B①（標準） | |
| 冷却タイプ、標準 | 空気 | |
| 冷却水の消費量 | L /分 | > 1 |
| 冷却水温 | ℃ | ≦25 |
| 入力電圧/周波数 | V / Hz | 220±20/50 |
| 環境温度 | ℃ | 5-40 |
| 取り付け位置 | Veritcal | |
| コントローラーモデル | ||
| L * W * H | mm | 400×300×260 |
| 重量 | kg | 16〜21 |