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60年以上にわたるSEMの製造経験を持つKYKYとして、EMシリーズ全体は、STM、AFM、加熱ステージ、低温ステージ、引張ステージ、マイクロステージと統合された、電子ビームリソグラフィリモデリング、LaB6アップグレードなどの古いシステムの再生およびカスタマイズシステムをSEM +としてサポートします。ナノマニピュレータなどのシステムはまた、市場で分析検出器の大部分を取り付けるためのチャンバーに複数のインターフェースを持っています
標準のEM6900はタングステンフィラメントSEMから得ることができ、また最も便利な検出器バンドルSE + BSEを持ち、EM6200と比較してサンプルステージをアップグレードし、対物レンズをアップグレードし、真空経路の最適化も行います。タングステンフィラメントＳＥＭに基づく伸び分析。
多言語操作システム、統合されたコントロールパネル、顧客はマウスとキーボード、生涯にわたるテクニカルサポートによる包括的なアフターサービスプランで簡単にユニット全体をコントロールすることができます。
アドバンテッジ：
◆高解像度
◆アップグレード可能なLaB 6 、巨大なサンプルステージなど
◆複数の修正案
◆自動化ソフトウェアのフルセット
◆メンテナンス費用が安い
仕様：
| 項目 | EM6900標準タングステンフィラメントSEM | |
| 解決 | 3nm @ 30KV（SE）6nm @ 30KV（BSE） | |
| 倍率 | 負の倍率：6倍〜300000倍スクリーンの倍率：12倍〜600000倍 | |
| 電子銃 | タングステン加熱カソードプレセンタリングタングステンフィラメントカートリッジ | |
| 加速電圧 | 0〜30KV | |
| レンズシステム | 3段電磁レンズ（テーパーレンズ） | |
| 対物開口 | モリブデン口径調整式外部真空システム | |
| 試料ステージ | 5軸ステージ | |
| 旅行 | X（自動） | 0〜80mm |
| 範囲 | Y（自動） | 0〜60mm |
| Z（手動） | 0〜50mm | |
| R（手動） | 360° | |
| T（手動） | -5°〜90° | |
| 最大試験片直径 | 175mm | |
| 探知機 | 高真空二次電子検出器 | |
| 半導体四分割後方散乱検出器 | ||
| IR CCD | ||
| 変形 | ステージアップグレード; EBL; STM; AFM; 加熱ステージ クライオステージ 引張ステージ マイクロナノマニピュレータ SEM +コータ; SEM +レーザー | |
| 付属品 | LaB6、X線検出器（EDS）、EBSD、CL、WDS、コータ | |
| 真空システム | ターボ分子ポンプ;回転ポンプ | |