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KYKY走査型電子顕微鏡リストのベストセラーモードであるEM3200のアップグレード版は、2014年以来毎年20以上の売上高を誇り、市場で入手可能な最も手頃な価格のフロアマウントSEMです。 多言語操作システム、統合されたコントロールパネル、顧客はマウスとキーボード、生涯にわたるテクニカルサポートによる包括的なアフターサービスプランで簡単にユニット全体をコントロールすることができます。 60年以上にわたるSEMの製造経験を持つKYKYとして、EMシリーズ全体は、STM、AFM、加熱ステージ、低温ステージ、引張ステージ、マイクロステージと統合された、電子ビームリソグラフィリモデリング、LaB6アップグレードなどの古いシステムの再生およびカスタマイズシステムをSEM +としてサポートします。ナノマニピュレータなどのシステムはまた、市場にある分析検出器のほとんどを取り付けるためのチャンバに複数のインターフェースを有する。
利点：
◆手ごろな価格のSEM
◆英語操作パネル
◆自動化ソフトウェアのフルセット
◆修正サービスあり
◆ベストセラーSEM
仕様：
| 項目 | EM6200エコタングステンフィラメントSEM | |
| 解決 | 4.5nm @ 30KV（SE）6nm @ 30KV（BSE） | |
| 倍率 | 負の倍率：15倍〜250000倍スクリーンの倍率：30倍〜500000倍 | |
| 電子銃 | タングステン加熱カソードプレセンタリングタングステンフィラメントカートリッジ | |
| 加速電圧 | 0〜30KV | |
| レンズシステム | 3段電磁レンズ（テーパーレンズ） | |
| 対物開口 | モリブデン口径調整式外部真空システム | |
| 試料ステージ | 5軸ステージ | |
| 旅行 | X（自動） | 0〜50mm |
| 範囲 | Y（自動） | 0〜50mm |
| Z（手動） | 0〜25mm | |
| R（手動） | 360° | |
| T（手動） | -5°〜90° | |
| 最大試験片直径 | 150mm | |
| 探知機 | 高真空二次電子検出器（検出器保護付き） | |
| 変形 | ステージアップグレード; EBL; STM; AFM;加熱ステージ;低温ステージ;引張ステージ;マイクロナノマニピュレーター; SEM +コーティング機; SEM +レーザー | |
| 付属品 | CCD、LaB 6、X線検出器（EDS）、EBSD、CL、WDS、コータ | |
| 真空システム | ターボ分子ポンプ;回転ポンプ | |
| パソコン | カスタマイズされたDellワークステーション | |