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KYKY TECHNOLOGY CO。、LTD。は1958年に設立され、中国における真空技術と電子光学のパイオニアです。 過去60年間で、KYKYは世界中の顧客に包括的な真空ソリューションを提供することに専念してきました。
KYKYは、中国でターボ分子ポンプ、市販のヘリウムリークディテクタ、および走査型電子顕微鏡の最初のセットを発明しました。
1970年代に、KYKYのKYKYのSEM部門は中国で最初の走査電子顕微鏡の開発に成功しました。
SEM試料調製用スパッタリングコーター、非導電性試料前処理。
中気体：アルゴン導入口および空気膨張マイクロアジャスタを備えた空気またはアルゴン。 カスタマイズ可能、例えば（コーティング厚さ計を装備）
利点：
小さいサイズ; ユーザーフレンドリーな操作 ほとんどの金属ターゲットに適合しています。 利用できるアルゴンモード。
仕様：
| 働く部屋の直径： | 75〜150mm |
| 真空システム | 避難用ロータリーポンプ、2L / s |
| 堆積速度： | 2〜10 nm / min |
| 力： | 220V / 50Hz |
| ガラス処理室 | ≒100mm。 高さ130mm。 |
| 試料ステージサイズ： | 約40mm（6個の試料カップを保持） |
| ゴールデンターゲットサイズ： | 58mm×0.12mm（厚さ） |
| 真空検出： | ピラニゲージ |
| 真空保護： | マイクロスケール膨張弁付き20 pa |
| 中ガス： | アルゴンガスまたはアルゴンガスを含むアルゴンまたは空気マイクロスケールでのガス調整。 |
アプリケーション：
走査型電子用試料（スパッタリング可能、金、銀、銅、チタン、アルミニウム）