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ccdシリーズ真空スライドバルブ電気駆動装置nd50-400
真空ゲートバルブ
高真空ゲートバルブ
真空研究ゲートバルブ
真空スライドバルブ
| モデル | CCQ-35B | CCQ-50B | CCQ-63B | CCQ-80A | CCQ-100A | CCQ-150A | CCQ-200A | CCQ-250A | CCQ-320B | CCQ-400B | |
| フランジ | ISO-K / F、CF | ISO-K / F、CF | ISO-K / F、CF | ISO-K / F、CF | ISO-K / F、CF | ISO-K / F、CF | ISO-K / F、CF | ISO-K / F、CF | ISO-K / F、CF | ISO-K / F、CF | |
| 呼び径 | DN35 | DN50 | DN63 | DN80 | DN100 | DN150 | DN200 | DN250 | DN320 | DN400 | |
| （Pa） アプリケーションの範囲 |
105—10-7 | 105—10-7 | 105—10-7 | 105—10-7 | 105—10-7 | 105—10-7 | 105—10-7 | 105—10-7 | 105—10-7 | 105—10-7 | |
| 漏れ率（Pa■m3 / s ）。 |
≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | |
| ドライブモード | 空気圧 | 空気圧 | 空気圧 | 空気圧 | 空気圧 | 空気圧 | 空気圧 | 空気圧 | 空気圧 | 空気圧 | |
| （MPa）使用圧力 | 0.3〜0.4 | 0.3〜0.4 | 0.3〜0.4 | 0.4〜0.5 | 0.4〜0.5 | 0.4〜0.5 | 0.4〜0.5 | 0.5〜0.6 | 0.6〜0.7 | 0.6〜0.7 | |
| バルブインプレース表示 | 磁気 | 磁気 | 磁気 | 磁気 | 磁気 | 磁気 | 磁気 | 磁気 | 磁気 | 磁気 | |
| （℃）ベーキング温度 | の上 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 |
| オフ | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | |
| 取り付け位置 | どれでも | どれでも | どれでも | どれでも | どれでも | どれでも | どれでも | どれでも | どれでも | どれでも | |
kyky technology co。、ltd。は、中国における真空技術と電子光学のパイオニアである1958年に設立されました。過去60年間、kykyは世界中の顧客に包括的な真空ソリューションを提供することに専念してきました。