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スパッタイオンポンプは、清浄度、高真空度、ゼロノイズ、ゼロ振動、そして操作上の利便性などの利点を有する、クリーンで超高真空を得るための真空発生装置である。 イオンポンプは閉鎖系で作動し、連続作動式補助ポンプを必要としない。
原理：
陽極の材質はステンレス樽、陰極の材質はチタン板です。 ペニング放電プロセスは、磁界と電界の共同作用によりガスをイオン化し、ガスの排出を実現します。
アプリケーション：
スパッタイオンポンプはオイルレス超高真空セットのメインポンプであり、高エネルギー粒子加速器、制御熱核反応装置、電気真空装置、半導体材料、電子顕微鏡、マスなどの科学実験装置に適用することができます。分光計、および超高真空を必要とする他の産業機器。
仕様：
| モデル | 2L-100 | ||
| フランジ | DN150CF | ||
| ポンプ速度（L / S） | （空気） | 120 | |
| 排気速度 | （アル） | 1.2 | |
| 起動圧力（Pa） | ≦5×10 -4 | ||
| 到達圧力（Pa） | 7×10 -8 | ||
| （℃）焼成温度 | ＜200 | ||
| 磁気を使って | |||
| 磁気なし | ＜300 | ||
| 動作電圧（KV） | 7 | ||
| 電極ユニット | 4 | ||
| 寸法（mm） | 140×210（4-M10） | ||
| L * W * H（mm） | 350×250×307 | ||
| （kg）重量 | 38 | ||