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スパッタイオンポンプは、クリーンで超高真空を得るための真空発生装置です。
利点：
このシリーズのポンプは、清浄度、高真空度、騒音ゼロ、振動ゼロ、そして操作上の便利さといった利点を持っています。
アプリケーション：
スパッタイオンポンプはオイルレス超高真空セットのメインポンプであり、高エネルギー粒子加速器、制御熱核反応装置、電気真空装置、半導体材料、電子顕微鏡、マスなどの科学実験装置に適用することができます。分光計、および超高真空を必要とする他の産業機器。
原理：
陽極の材質はステンレス樽、陰極の材質はチタン板です。 ペニング放電プロセスは、磁界と電界の共同作用によりガスをイオン化し、ガスの排出を実現します。
三極管イオンポンプは、不活性ガスのポンピング速度を上げるために改良されている。 不活性ガスのイオンは、陰極のチタングリッドに斜入射し、その後中和され、チタン膜で埋め込まれるためにポンプ壁と陽極に反射される。 陽イオン衝撃によってポンプ壁に埋まっている不活性ガスは放出されないので、不活性ガスの排気速度は増加する。
仕様：
| モデル | 3L-400C | |||
| フランジ | DN150CF | |||
| ポンプ速度（L / S） | （空気） | 420 | ||
| 排気速度 | （アル） | 85 | ||
| 起動圧力（Pa） | ≦5×10 -4 | |||
| 到達圧力（Pa） | 1×10 -8 | |||
| （℃）焼成温度 | ＜200 | |||
| 磁気を使って | ||||
| 磁気なし | ＜300 | |||
| 動作電圧（KV） | -5 | |||
| 電極ユニット | 4 | |||
| 寸法（mm） | 200×140（4-M12） | |||
| L * W * H（mm） | 500×265×600 | |||
| （kg）重量 | 153 | |||