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磁気浮上分子ポンプは、軸力が磁力によって支えられるポンプです。
シリーズ磁気浮上式分子ポンプは、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野の用途要件を満たすためにKYKYによって開発された真空発生装置です。
テクノロジ：
アプリケーション：
シリーズ磁気浮上分子ポンプは、主に半導体製造、クリップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野、特にエッチング、CVD、PVDおよびイオン注入に存在する腐食性ガスの抽出および常温で容易に凝固するガスの分野に適用される。
仕様：
| フランジ（イン） | DN250 CF / ISO-K、ISO-F |
| フランジ（アウト）KF | DN40 |
| ポンプ速度（L / s） | N 2 ：2300 |
| Ar：2250 | |
| 彼：1900 | |
| H 2 ：850 | |
| 圧縮率 | N 2：10 8 |
| Ar：10 8 | |
| 彼：10 4 | |
| H 2：10 3 | |
| 到達圧力（Pa） | CF：1×10 -6 |
| ISO-K / F：6×10 -6 | |
| 最大 連続前真空圧（Pa） | 60 |
| 最大 前真空圧 | N 2 ：250 |
| ガス処理量（sccm） | N 2 ：3600 |
| Ar：1400 | |
| 彼：2800 | |
| H 2 ：2100 | |
| 回転速度（rpm） | 27000 |
| 立ち上がり時間（分） | ≤11 |
| 冷却タイプ、標準 | 水 |
| 冷却水消費量（リットル/分） | 1 |
| 冷却水温（℃） | 20 |
| 電源接続：電圧（V AC） | 220 |