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KYKYはコンパクト構造、便利な操作、適用範囲が広い、広い適用範囲および安定した性能の利点が付いているコンパクトおよび高性能のオイル潤滑のターボポンプを開発しました。
利点：
このシリーズのポンプは、過酷な環境下（高温、粉塵など）での性能に優れ、性能が安定しており、長寿命であり、メンテナンスも簡単で操作も簡単です。
アプリケーション：
主な用途は、工業用リーク検出、PVD、CVD、イオン注入、真空電子部品製造、低Eガラス、ITOガラス、光学コーティング、太陽電池、電子ビーム溶接、真空炉、その他の産業です。
仕様：
| フランジ（イン） | DN400 ISO-K |
| フランジ（アウト）KF | DN100 |
| ポンプ速度（L / s） | N 2 ：3500 |
| 彼：2650 | |
| H 2 ：1280 | |
| Ar：3200 | |
| 圧縮率 | N 2：10 8 |
| 彼：10 3 | |
| H 2 : 10 2 | |
| Ar：10 8 | |
| 到達圧力（Pa） | 6×10 -6 |
| 最大 連続前真空圧（Pa） | 100 |
| 最大 前真空圧 | N 2 ：300 |
| ガス処理量（sccm） | N 2 ：5500 |
| 彼：4000 | |
| H 2 ：3200 | |
| Ar：2100 | |
| 回転速度（rpm） | 13500 |
| 立ち上がり時間（分） | ≤18 |
| 冷却タイプ、標準 | 水 |
| 冷却水消費量（リットル/分） | 1以上 |
| 冷却水温（℃） | ≦25 |
| 電源接続：電圧（V AC） | DC24 / AC220 |
| 最大消費電力（W） | ≦1100 |
| コントローラーモデル | FD-III、TCDP-III |
| 重量（キログラム） | 130 |
株式会社キーキーテクノロジー シリーズ分子ポンプ、シリーズ分子ポンプステーション、シリーズイオンポンプ、シリーズゲートバルブ、サポートコントローラを含む真空生成製品の製造と研究における長年の経験があります。
1970年代に最初の垂直ターボ分子ポンプを開発して以来、KYKYは常に方向づけています
需要主導の市場に、私たちの顧客の要求を満たすことを目指し、そして革新的に発展するという企業精神の中で新製品を継続的に発売します。